2007 Fiscal Year Annual Research Report
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19510130
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| Research Institution | Wakayama University |
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Principal Investigator |
幹 浩文 Wakayama University, システム工学部, 助教授 (20403363)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
越本 泰弘 和歌山大学, システム工学部, 教授 (60314556)
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| Keywords | MEMS / 個人認証 / 指紋センサー / 熱型センサー / ポリイミド |
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| Research Abstract |
(1)H19年度の研究を通じて得られた成果を持ってアメリカで開かれた国際会議で発表を行った。国際会議名:SPIE分野:Defense+Security 16-20 March 2008 Orlando World Center Marriott Resort and Convention Center Or Iando,Florida, USA発表論文テーマ:[6944-25]"Characteristics of thermal-type fingerprint sensor"
(2)FDTD(Finite Difference Time Domain)法を用いて素子間cross-talk現象の影響をセンサ素子の材質・センサアレイピッチ・パルス時間・入力パワーなど総合パラメータ関係から解析を行った;解析結果に基づいて最適構造設計を行い、サンプル作製用フォトマスクを設計・発注し加工済である;MEMS技術を投入した加工プロセスを開発し、一次元アレイデバイスの加工プロセス技術を確立;曲面対象物にも対応できる柔軟性基板を持つデバイス作製の安定した加工が実現できた。貫通配線と平面交差配線法を検討し、構造設計と材料選定によりノイズ影響の除去を図った;柔軟性と熱絶縁性に優れたPl film(25μm)を基板材料に用いた。マイクロ抵抗体アレイのセンシング素子には薄膜作製技術を投入した。センシング素子の薄膜化技術の投入と基板との熱絶縁効果によってセンサ素子の高感度・高応答性が実現できた;デバイスに必要な回路設計と信号処理・アルゴリズム開発は研究進行中である。平成19年度の研究成果をまとめ、SPIE, JMM(Journal of Micromechanics and Microengineering)雑誌へ論文投稿を予定している。
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