2009 Fiscal Year Annual Research Report
| Project/Area Number |
19510130
|
|---|
| Research Institution | Wakayama University |
|---|
Principal Investigator |
幹 浩文 Wakayama University, システム工学部, 助教 (20403363)
|
|---|
| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
越本 泰弘 和歌山大学, システム工学部, 教授 (60314556)
|
|---|
| Keywords | MEMS / 個人認証 / 指紋センサー / 熱型センサー / ポリイミド |
|---|
| Research Abstract |
本研究では、マイクロ抵抗体を用いた今までない微細パターン検出の新しい原理を提案し、新しい検出原理とMEMS技術の投入によって個人認証・識別用指紋センサーデバイスの超小型化及び高度なセキュリティの実現を研究目的とした。パターン検出の具体的原理は、センサ基板上にマイクロヒータ素子を高密度にアレイし、指紋の凹凸によるヒータ素子温度変化を電気抵抗値の変化から識別することにある。本研究は、従来研究とは全く違う新しい検出原理を利用し、MEMS技術を駆使することによって既存技術の改善を目標とするのではなく、課題の根本的な解決を目指すものである。本年度は、これまでの1素子・1次元アレイデバイスの作製加工技術と機能性評価結果を基に、指紋パターン検出可能な素子間ピッチ50μm (500dpi)の2次元アレイデバイスの加工プロセス技術を開発し、柔軟性基板を特徴とする配線・保護膜の実施などハード面での技術課題を詳しく検討し、熱絶縁効果とセンサ素子の感度・応答性の改善評価を行った。2次元アレイ配線において、素子数の増加に伴う配線数の急激な増加と、熱型センサ特有のセンシング素子加熱用配線とセンサ素子から検出信号を取り出す配線の配置の課題について、回路技術と信号処理技術を活用することによってセンサ素子加熱用とセンサ素子からパターン検出用電気信号を引き出す配線を共有させて配線の数を減らす手法を検討した。センサ自体の小型化には成功しているが信号線と駆動線の配線による面積増加の対策としてデバイスのシステム化や製品化に向けてはアレイ数を極限(2～3行までに)減らしてのスキャン方式の投入が望ましい。
|
