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2008 Fiscal Year Final Research Report

Molecular Dynamics Simulation of GaN Dry Etching

Research Project

  • PDF
Project/Area Number 19540527
Research Category

Grant-in-Aid for Scientific Research (C)

Allocation TypeSingle-year Grants
Section一般
Research Field Plasma science
Research InstitutionRitsumeikan University (2008)
Takamatsu National College of Technology (2007)

Principal Investigator

HARAFUJI Kenji  Ritsumeikan University, 理工学部, 教授 (60442472)

Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) KAWAMURA Katsuyuki  東京工業大学, 理工学研究科, 教授 (00126038)
Project Period (FY) 2007 – 2008
Keywordsプラズマ加工 / 計算物理 / 結晶工学 / 窒化ガリウム / 分子動力学 / ドライエッチング
Research Abstract

物理スパッタリング率のイオンエネルギー及びイオン入射角度依存性、さらにエッチング後の結晶欠陥の基礎データを収集した。N原子に対するスパッタリング率はGa原子に対するそれよりも大きい。エッチングによるダメージに関して、結晶内にはGaとNがペアになったショットキー欠陥が生じやすい。Gaは格子間原子と成り得るが、Nは格子間原子としては結晶内に存在し得ず、表面上に押し出されて再結晶化するか、スパッタされる。反応性塩素ガスを結晶表面に被覆した場合のイオンアシストエッチングの素過程を調べた。物理スパッタリングの場合と比べて、Gaに対するエッチング率が飛躍的に増加すること、また、Arイオンが入射してから、Gaが表面から離脱するまでの時間が10倍程度遅くなることを確認した。

  • Research Products

    (4 results)

All 2009 2008 2007

All Journal Article (1 results) (of which Peer Reviewed: 1 results) Presentation (3 results)

  • [Journal Article] Sputtering Yield as a Function of Incident Ion Energy and Angle in Wurtzite-Type GaN Crystal2008

    • Author(s)
      K.Harafuji and K. Kawamura
    • Journal Title

      Japanese Journal of Applied Physics 74

      Pages: 1536-1540

    • Peer Reviewed
  • [Presentation] Molecular Dynamics of GaN Dry Etching2009

    • Author(s)
      K. Harafuji and K. Kawamura
    • Organizer
      Proc. Plasma Science Symposium 2009 and The 26th Symposium on Plasma Processing
    • Year and Date
      20090000
  • [Presentation] Point defects induced by dry-etching in wurtzite-type GaN crystal2007

    • Author(s)
      K. Harafuji and K. Kawamura
    • Organizer
      Abstracts of 18th International Symposium on Plasma Chemistry
    • Year and Date
      20070000
  • [Presentation] Energy and angular dependence of incident Ar ion in dry-etching of wurtzite-type GaN crystal2007

    • Author(s)
      K. Harafuji and K. Kawamura
    • Organizer
      XXVIII International Conference on Phenomena in Ionized Gases
    • Year and Date
      20070000

URL: 

Published: 2010-06-10   Modified: 2016-04-21  

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