2008 Fiscal Year Final Research Report
Application of catalytic chemical vapor deposition technique to oxidizing gases
| Project/Area Number |
19550015
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| Research Category |
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
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| Allocation Type | Single-year Grants |
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| Section | 一般 |
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| Research Field |
Physical chemistry
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| Research Institution | Shizuoka University |
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Principal Investigator |
UMEMOTO Hironobu Shizuoka University, 工学部, 教授 (80167288)
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| Project Period (FY) |
2007 – 2008
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| Keywords | 化学気相堆積 / 酸化性ガス / 金属触媒 / 酸素原子 / 水素原子 / OHラジカル |
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| Research Abstract |
加熱金属表面における触媒分解過程が、これまでの還元性ラジカルの生成に加え、酸素原子やOHラジカルなどの酸化性ラジカルの選択的生成にも利用できることを示した。特に、イリジウムは、高温でも酸素や酸化窒素、水蒸気等によって酸化されることはなく、これを用いることにより金属汚染のない酸化物薄膜の成膜や表面処理が可能である。また、タングステンとイリジウムにおける発生ラジカル種の比較から、両者における反応過程の相違についての知見を得た。
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