2008 Fiscal Year Final Research Report
Fabrication of highly ordered nanoporous silicons by direct nanoimprint and their application for Li ion battery anode
| Project/Area Number |
19550180
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| Research Category |
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
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| Allocation Type | Single-year Grants |
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| Section | 一般 |
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| Research Field |
Functional materials/Devices
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| Research Institution | Tokyo Metropolitan University |
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Principal Investigator |
NISHIO Kazuyuki Tokyo Metropolitan University, 都市環境科学研究科, 准教授 (00315756)
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| Project Period (FY) |
2007 – 2008
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| Keywords | ポーラスシリコン / 電解エッチング / ナノインプリント / リチウムイオン二次電池 |
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| Research Abstract |
突起が規則配列したSiC製のモールドを用いたダイレクトナノインプリント, 或いは規則細孔配列を有する陽極酸化ポーラスアルミナをマスクとしたドライエッチングによりSi表面に規則的な窪み配列を形成し, これを電解エッチングすることにより高密度高規則配列のナノポーラスシリコンを形成した. これを電極としてリチウムイオンに基づく充放電特性を測定したところ, 細孔周期200nmに対して, 100nmでは充放電の繰り返しによる細孔径状の歪みが抑えられることがわかった.
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Research Products
(9 results)
