2007 Fiscal Year Annual Research Report
マイクロ・ウォータジェット・ポリシング法の開発と次世代光学素子の高精度化
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19560105
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| Research Institution | Tohoku University |
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Principal Investigator |
人見 宣輝 Tohoku University, 大学院・工学研究科, 産学官連携研究員 (30300669)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
厨川 常元 東北大学, 大学院・工学研究科, 教授 (90170092)
吉原 信人 東北大学, 大学院・工学研究科, 助教 (80374958)
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| Keywords | 精密金型 / 非球面レンズ / 研摩 / ガラスレンズ / ウオータジェット / アスピレータ / ポリシング |
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| Research Abstract |
ガラスレンズなど非球面光学素子の超精密金型の研削後の高度な研磨技術に対する工業界の要請は非常に高い。現行の研削盤では避けがたい研削段階での微小振幅のうねりや粗さ除去の研究と併せて、研磨で的確これらを除去する技術の開発が、特に素子の小型化になればなるほど重要となる。本研究課題ではこれらのうねりなどを局所的に研磨することを目的に微小な砥粒ジェットによる水流研磨技術の研究を行っている。本年度実施した内容およびその成果を以下に記す。
基本機能の研究:本研究の微細な砥粒を高速高圧で噴出させる方式においては圧力差と膨張率が重要な因子であるために基本的な構成について再検討した。メタノールに砥粒を分散させたスラリーを高圧メタノールを主ジェットとしたアスピレータで吸引させる方法、またガス圧にて直接リアクター内のスラリーを噴出する構造などが本来の目的機能の観点からは有効であることを確認した。しかしながら将来の工業的に重要な因子であるコスト、安全性、連続使用時間などを考慮すると水に砥粒を分散させたスラリーに若干量のガスを混入したものを、高圧水を主ジェットとしたアスピレータに吸引させる方法が有効性もあまり損なわずかつ現実的な解であるという結論に達し、これを本研究の基本構成とすることにした。
マイクロ・ウオータジェット・ポリシング装置の開発:上記の結論および予備実験の結果からその心臓部であるアスピレータ式ウオータジェット部の設計を実施、これを完了して試作に入った。またこれを搭載する架台および加工ワークを精密に移動させる装置、装置内での噴霧の除去装置などを設計開発を完了した。
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Research Products
(2 results)
