2008 Fiscal Year Annual Research Report
結晶基板の超量産を目指す遊離砥粒研磨加工の知的高度化
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19560107
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| Research Institution | Saitama University |
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Principal Investigator |
堀尾 健一郎 Saitama University, 理工学研究科, 教授 (60201761)
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| Keywords | 精密研磨 / 両面研磨 / 精密部品加工 / ベベル形状 / 修正輪型研磨 |
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| Research Abstract |
1.高度な両面研磨技術の開発前年度に開発した加工機械の一部をスケルトン化し加工箇所が観察できる両面研磨機を用い各種実験を行った。加工液の供給状況については両面研磨機の上下面での供給状況について知見を得ることができた.工具に施す溝形状の砥粒供給に及ぼす影響についても検討した.また,加工条件としてキャリアの内側形状と試料形状の組み合わせを変えて加工中の試料の運動を観察し,加工試料が自転しながら加工されている状況,および形状の相違が運動に与える影響を確認することができた.
2.接触型の研磨技術によるベベル加工の実現水晶振動子のベベル加工に対して、能率と歩留まりが飛躍的に向上することが期待できる接触型研磨技術の適用について,前年度の研究でオスカー型レンズ研磨技術の応用,修正輪型研磨技術、の双方について実用可能であることを明らかとしたため,今年度は形状精度,および歩留まりの向上について検討した.
(1)形状精度に影響を与える因子冶具の曲率半径、工具の曲率半径、工作物の曲率半径の相互関係につき詳細に検討した結果,試料貼り付け時の弾性変形量が加工後の形状精度に大きな影響を与えることを明らかにした.
(2)試料接着技術歩留まりに大きな影響を与える加工準備段階の加工物の治具への接着について検討した.接着厚さの評価法を確立し,接着手順が加工前試料の曲率半径に与える影響を調べた.接着用治具の開発,静水圧を利用した接着手川頁の開発により曲率半径のばらつきを大幅に低減する手法を確立することができた.
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Research Products
(2 results)
