Application of micro/nanotribology to micro fabrication

2008 Fiscal Year Final Research Report

• Project/Area Number: 19560151
• Research Category: Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
• Allocation Type: Single-year Grants
• Section: 一般
• Research Field: Design engineering/Machine functional elements/Tribology
• Research Institution: Aichi Institute of Technology
• Principal Investigator: MAKOTO Takagi Aichi Institute of Technology, 工学部, 教授 (40288428)
• Co-Investigator(Kenkyū-buntansha): MATSUMURO Akihito 愛知工業大学, 工学部, 教授 (80173889)
• Project Period (FY): 2007 – 2008
• Keywords: トライボロジー

Research Abstract

将来様々な分野への応用が期待されるマイクロ/ナノシステムの実現に必要なSi単結晶の微細加工技術として、原子間力顕微鏡(AFM)を用いて微小荷重で引掻き摩擦による加工を試み、得られた加工形状や微構造変化を解明して、加工プロセスを推定した。

Research Products

• [Journal Article] TEM and HRTEM Observations of Microstructural Change of Silicon Single Crystal Scratched under Very Small Loading Forces by AFM (2008)
  • Author(s): Makoto Takagi, Kenji Onodera, Akihito Matsumuro, Hiroyuki Iwata, Katsuhiro Sasaki and Hiroyasu Saka
  • Journal Title: Materials Transactions 49-6 Pages: 1298-1302
  • Peer Reviewed
• [Journal Article] SPMを用いたSi単結晶のナノ加工と表面の構造変化 (2007)
  • Author(s): 吉田浩也, 松室昭仁, 岩田博之, 高木誠
  • Journal Title: 精密工学会誌 Vol.73, No.10 Pages: 1149-1153
  • Peer Reviewed
• [Presentation] 生体適合材料のAFMによるマイクロトライボロジーと構造変化 (2008)
  • Author(s): 川本竜也、高木誠、松室昭仁
  • Organizer: 精密工学会秋季大会学術講演会論文集I62
  • Year and Date: 20080000
• [Presentation] SPM加工現象のTEM内その場観察 (2008)
  • Author(s): 松本達、高木誠、松室昭仁、岩田博之
  • Organizer: 精密工学会秋季大会学術講演会論文集I64
  • Year and Date: 20080000
• [Presentation] FIB-CVDによるマイクロ構造体の作製と機械的性質 (2008)
  • Author(s): 中山浩征、高木誠、松室昭仁
  • Organizer: 精密工学会秋季大会学術講演会論文集I46
  • Year and Date: 20080000
• [Presentation] スパッタリングTiC薄膜のマイクロスケールにおける機械的特性 (2008)
  • Author(s): 粕谷健太、高木誠、松室昭仁
  • Organizer: 精密工学会秋季大会学術講演会論文集I63
  • Year and Date: 20080000
• [Presentation] ナノチューブ探針を用いたSTM加工による微小構造体の作製 (2007)
  • Author(s): 新井裕之, 松室昭仁, 高木誠
  • Organizer: 2007年度精密工学会秋季大会論文集(707-708)
  • Year and Date: 20070000
• [Presentation] AFMを用いた引掻き加工に伴うSi単結晶の微構造変化 (2007)
  • Author(s): 岡田猛, 高木誠, 松室昭仁, 岩田博之, 坂公恭
  • Organizer: 2007年度精密工学会秋季大会論文集(839-840)
  • Year and Date: 20070000
• [Presentation] AFMによる引掻き加工に伴うSi単結晶のアモルファス化とその挙動 (2007)
  • Author(s): 岡田猛, 高木誠, 松室昭仁, 岩田博之, 坂公恭
  • Organizer: 日本金属学会講演概要2007年秋期大会
  • Place of Presentation: 419
  • Year and Date: 20070000