2007 Fiscal Year Annual Research Report
高速ガス流を利用した放電プラズマ光源用デブリシールド法の開発
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19560282
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| Research Institution | Tokyo Institute of Technology |
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Principal Investigator |
渡邊 正人 Tokyo Institute of Technology, 大学院・総合理工学研究科, 助教 (20251663)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
堀田 栄喜 東京工業大学, 大学院・総合理工学研究科, 教授 (70114890)
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| Keywords | 放電プラズマ / EUV / 流体工学 / デブリ |
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| Research Abstract |
超音速ガス流方式によるデブリシールド法では,放電管内のピンチプラズマから放射されたEUV光が集光ミラーへ伝播する途中に,ヘリウムガスによる超音速ガス流を発生させ,電極部からのデブリをシールドする。また,ディフューザによりヘリウムガスを回収し,放射光伝播部を高真空に保つ。このような,プロセスを構築し,その有用性を実験的に明らかにすることを目的とし研究を実施した。
平成19年度は、装置の構築を目指し、超音速ガス流発生用の超音速ノズルとディフューザの形状を解析的に決定し,ガス導入およびガス排気部を持つ超音速ガス流システムを設計・製作した。ノズルは,EUV光が通過する部分を極力少なくするようシート状の流れを発生できる形状にし,また,ディフューザを可変構造にした。次に、安定な超音速ガス流が生成されていることを確認するために,超音速ガスの流れを可視化する手段として,レーザ誘起蛍光法の適用準備をした。
平成20年度には,シート状のノズル流の観測を実施し,デブリシールドとしての機能を調査する予定である。
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