2008 Fiscal Year Annual Research Report
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19560308
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| Research Institution | Kitami Institute of Technology |
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Principal Investigator |
野矢 厚 Kitami Institute of Technology, 工学部, 教授 (60133807)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
武山 眞弓 化見工業大学, 工学部, 准教授 (80236512)
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| Keywords | 薄膜 / 配緑 / バリヤ / 化合物 |
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| Research Abstract |
今年度において、複合ターゲット方式によるZnB_2薄膜の作製とそのキャラクタリゼーションなるびにバリヤ特性について明らかとすることができ、その結果をVASSCAA-4に発表した。また、その後、さらに検討を進めAppl. Sun9. Suに投稿した。内容は、スパッタによって作製したZrB_2薄膜の構造・組織をXRD、TEMにより調べ、SiO_2よってランダムはナノ結晶組織として形成されていること、AES分析の結果10%程度の酸素が不純物として含まれていることが解明され、5mm厚さの極等バリヤとして形成したときにも、十分にCuの拡散を防いでいる有効なバリヤ材料となると等が明らかとなった。また、研究の過程で、新たに、Cu表面のcapping膜としても私用できる可能性が見い出され、これらについても今後検討を進めて行く予定である。
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