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2008 Fiscal Year Annual Research Report

質量分析法を用いた、フェロイック材料薄膜の高精度組成制御

Research Project

Project/Area Number 19560323
Research InstitutionKanazawa Institute of Technology

Principal Investigator

作道 訓之  Kanazawa Institute of Technology, 工学部, 教授 (20267719)

Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) 矢島 善次郎  金沢工業大学, 工学部, 教授 (60148145)
岸 陽一  金沢工業大学, 工学部, 准教授 (70265370)
池永 訓昭  金沢工業大学, ものづくり研究所, 研究員 (30512371)
Keywords質量分析 / フェロイック材料 / 組成制御 / スパックリング / 形状記憶合金
Research Abstract

1.TiNi系形状記憶合金薄膜の組成制御プロセスの確立
スパッタリング成膜を行う場合,成膜速度をパラメータとして成膜条件を決定することが多いが,組成制御を行う場合には成膜速度だけでは不十分であることが今回明らかとなった.スパッタ率の異なる複数の金属を同時にスパッタ成膜する場合は,組成はスパッタ率で決まることを見出した.スパッタ率をその場計測することは困難であるため,膜厚モニターで計測した成膜速度からスパッタ率に換算する手法を考案してこれを解決した.この手法でTiNi系合金薄膜を形成したところ,目的とする組成に対してlat.%以下のばらつきで膜形成が可能となった.基板条件(基板温度)が変わると組成も変化することを確認したが,本手法を用いて補正が可能であることを確認した.従って,スパッタ率を成膜プロセスにフィードバックすることで高精度な組成制御が可能であることが明らかとなった.また,組成比の異なるTiNi系合金薄膜を作製し,その動作特性(温度-変位特性)を確認したところ,組成比の違いによって異なる特性が得られた.
2.TiNi系合金薄膜デバイス(カンチレバー)の作製と評価技術の開発
デバイスはTiNi合金と線膨張係数の近いA1箔上に薄膜を形成して評価した,温度-変位特性の評価はカンチレバーを側面から観察し,動画あるいは各温度における画像を解析する般的な手法で行った.より定量的な温度-変位特性の評価を行うためにはカンチレバーの形状を最適化する必要があることを明らかにした.

  • Research Products

    (16 results)

All 2009 2008

All Journal Article (2 results) (of which Peer Reviewed: 2 results) Presentation (14 results)

  • [Journal Article] Influence of Substrate Temperature on Texture for Deposited TiNi Films2008

    • Author(s)
      N. Ikenaga
    • Journal Title

      Advances in Science and Technology 59

      Pages: 30-34

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Magnetic Properties and Microstructures of Rapidly Solidified FePd Alloy Ribbons2008

    • Author(s)
      Y. Kishi
    • Journal Title

      Advances in Science and Technology 59

      Pages: 24-29

    • Peer Reviewed
  • [Presentation] TiNi形状記憶合金の高分子フィルム上への合成2009

    • Author(s)
      岸 陽一
    • Organizer
      日本金属学会2009年春期(144回)大会
    • Place of Presentation
      東京工業大学 大岡山キャンパス, 東京
    • Year and Date
      2009-03-30
  • [Presentation] TiNi形状記憶合金薄膜の合成に及ぼす基板温度及びバイアス印加の影響2009

    • Author(s)
      汐田耕一
    • Organizer
      日本金属学会2009年春期(144回)大会
    • Place of Presentation
      東京工業大学 大岡山キャンパス東京
    • Year and Date
      2009-03-28
  • [Presentation] 同時イオン照射によるTiNi薄膜の低温結晶成膜2008

    • Author(s)
      干野雄二郎
    • Organizer
      平成21年度応用物理学会北陸・信越支部学術講演会
    • Place of Presentation
      金沢工業大学, 石川
    • Year and Date
      2008-12-22
  • [Presentation] プラズマCVDで作製した炭素系硬質膜の膜硬度と重合イオンの関係2008

    • Author(s)
      宮本康平
    • Organizer
      平成21年度応用物理学会北陸・信越支部学術講演会
    • Place of Presentation
      金沢工業大学, 石川
    • Year and Date
      2008-12-22
  • [Presentation] Siに形成したマイクロアレイの摩擦摩耗特性に及ぼす形状及び密度の影響2008

    • Author(s)
      府玻亮太郎
    • Organizer
      平成20年度連合講演会(日本金属学会北陸信越支部, 日本鉄鋼協会北陸信越支部)
    • Place of Presentation
      信州大学, 長野
    • Year and Date
      2008-12-06
  • [Presentation] 多元素同時スパッタリングを用いて低温合成したTiNi形状記憶合金薄膜の組織観察2008

    • Author(s)
      榮 啓太
    • Organizer
      平成20年度連合講演会(日本金属学会北陸信越支部, 日本鉄鋼協会北陸信越支部)
    • Place of Presentation
      信州大学, 長野
    • Year and Date
      2008-12-06
  • [Presentation] 多元素同時スパッタリング装置を用いたTiNi合金薄膜の低温合成2008

    • Author(s)
      岸陽一
    • Organizer
      日本金属学会2008年秋期(143回)大会
    • Place of Presentation
      熊本大学 黒髪キャンパス, 熊本
    • Year and Date
      2008-09-24
  • [Presentation] 異方性エッチングで形成したSi突起へのa-C : H保護膜の形成とその研磨特性2008

    • Author(s)
      府玻亮太郎
    • Organizer
      日本金属学会2008年秋期(143回)大会
    • Place of Presentation
      熊本大学 黒髪キャンパス, 熊本
    • Year and Date
      2008-09-23
  • [Presentation] 多元素同時スパッタリングを用いたTiNi薄膜の低温結晶化2008

    • Author(s)
      干野雄二郎
    • Organizer
      平成20年度電気関係学会北陸支部連合大会
    • Place of Presentation
      富山大学, 富山
    • Year and Date
      2008-09-12
  • [Presentation] TiNi薄膜の形状記憶特性とそのデバイス応用に関する研究2008

    • Author(s)
      平林優一
    • Organizer
      平成20年度電気関係学会北陸支部連合大会
    • Place of Presentation
      富山大学, 富山
    • Year and Date
      2008-09-12
  • [Presentation] アモルファスカーボン成膜プラズマ中の複合分子イオン測定2008

    • Author(s)
      早川真由
    • Organizer
      第69回応用物理学会学術講演会予稿集
    • Place of Presentation
      中部大学, 愛知
    • Year and Date
      2008-09-02
  • [Presentation] Microstructure of Ion-Implanted region in TiNi alloy2008

    • Author(s)
      N. Ikenaga
    • Organizer
      16^<th> International Conference on Ion Beam Modification of Materials
    • Place of Presentation
      Dresden, Germany
    • Year and Date
      2008-09-01
  • [Presentation] Influence of Substrate Temperature on Texture for Deposited TiNi Films2008

    • Author(s)
      N. Ikenaga
    • Organizer
      3^<rd> International Conference of Smart Materials, Structures and Systems
    • Place of Presentation
      Acireale, Italy
    • Year and Date
      2008-06-12
  • [Presentation] Magnetic Properties and Microstructures of Rapidly Solidified FePd Alloy Ribbons2008

    • Author(s)
      Y. Kishi
    • Organizer
      3^<rd> International Conference of Smart Materials, Structures and Systems
    • Place of Presentation
      Acireale, Italy
    • Year and Date
      2008-06-12

URL: 

Published: 2010-06-11   Modified: 2016-04-21  

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