2008 Fiscal Year Final Research Report
Chemical short-range order in radiation-induced amorphous SiC
| Project/Area Number |
19560664
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| Research Category |
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
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| Allocation Type | Single-year Grants |
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| Section | 一般 |
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| Research Field |
Physical properties of metals
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| Research Institution | Osaka University |
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Principal Investigator |
ISHIMARU Manabu Osaka University, 産業科学研究所, 准教授 (00264086)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
HIRATA Akihiko 大阪大学, 産業科学研究所, 助教 (90350488)
NAITO Muneyuki 大阪大学, 産業科学研究所, 助教 (10397721)
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| Project Period (FY) |
2007 – 2008
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| Keywords | 解析・評価 / アモルファス / 透過電子顕微鏡 |
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| Research Abstract |
照射誘起非晶質炭化ケイ素(SiC)の構造および構造緩和過程を先端的電子顕微鏡技術により調べた。非晶質SiCは第1隣接においてSi-C異種原子対に加え、結晶には存在しないC-C、Si-Si同種原子対を有することが明らかとなった。熱処理に伴い異種原子対は増加するのに対し同種原子対は減少し、構造緩和により化学的短範囲規則性が変化することが確認された。Si-Si原子対はC-C原子対よりも構造緩和により早く消失し、この同種原子対間の消滅速度の違いにより非晶質SiCの体積は大きく変化することが示唆された
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Research Products
(21 results)
