Doping into native-donor transparent conducting oxides with amorphous or homologous structures

2008 Fiscal Year Final Research Report

• Project/Area Number: 19560677
• Research Category: Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
• Allocation Type: Single-year Grants
• Section: 一般
• Research Field: Inorganic materials/Physical properties
• Research Institution: The University of Tokushima
• Principal Investigator: MORIGA Toshihiro The University of Tokushima, 大学院・ソシオテクノサイエンス研究部, 教授 (90239640)
• Co-Investigator(Kenkyū-buntansha): MURAI Kei-ichiro 徳島大学, 大学院・ソシオテクノサイエンス研究部, 講師 (60335784)
• Project Period (FY): 2007 – 2008
• Keywords: 透明導電膜 / アモルファス / ブルーシフト / ドーパント

Research Abstract

種々の条件下でPC及びPET基板上にZnO-In_2O_3系アモルファス透明導電膜を作製した。GaやAl等のドーパントを用いることで、(1)ガラス基板上に作製したアモルファス薄膜に匹敵する低い抵抗率の膜を製膜すること、(2)基礎吸収端の位置を僅かではあるが短波長側にシフトさせ、光学窓をより大きくとることが可能となった。

Research Products

• [Journal Article] Structural analysis of homologous series of Zn_kIn2O_<k+3>(k=3, 5, 7) and ZnkInGaOk+3 (k=1, 3, 5) (2009)
  • Author(s): Toshihiro Moriga, Katsuya Ishida, Koji Yamamoto, Atsushi Yoshinari and Kei-ichiro Murai
  • Journal Title: Materials Research Innovations Vol.13, No.3 Pages: 1-5
  • Peer Reviewed
• [Journal Article] Crystal and electronic band structures of homologous compounds Zn_kIn_2O_<k+3> by Rietveld analysis and first-principle calculation (2008)
  • Author(s): Atsushi Yoshinari, Katsuya Ishida, Kei-ichiro Murai and Toshihiro Moriga
  • Journal Title: Materials Research Bulletin Vol.44 Pages: 432-436
  • Peer Reviewed
• [Journal Article] The properties of transparent conductive In-Ga-Zn oxide films produced by pulsed laser deposition (2008)
  • Author(s): Kenichi Inoue, Kikuo Tominaga, Takashi Tsuduki, Michio Mikawa and Toshihiro Moriga
  • Journal Title: Vacuum Vol.83 Pages: 552-556
  • Peer Reviewed
• [Journal Article] Influence of Ga_2O_3 addition on transparent conductive oxide films of In_2O_3-ZnO (2008)
  • Author(s): Kikuo Tominaga, Daisuke Takada, Koji Shimomura, Hiroshi Suketa, Keisuke Takita, Kei-ichiro Murai and Toshihiro Moriga
  • Journal Title: Vacuum Vol.83 Pages: 561-563
  • Peer Reviewed
• [Journal Article] In_2O_3-ZnO transparent conductive oxide film deposition on polycarbonate substrates (2008)
  • Author(s): Toshihiro Moriga, Koji Shimomura, Daisuke Takada, Hiroshi Suketa, Keisuke Takita, Kei-ichiro Murai and Kikuo Tominaga
  • Journal Title: Vacuum Vol.83 Pages: 557-560
  • Peer Reviewed
• [Presentation] Zn-In-Ga-O系ホモロガス化合物のAl置換がもたらす結晶構造と熱電性能の変化 (2009)
  • Author(s): 山本紘士, 吉成篤史, 村井啓一郎, 森賀俊広
  • Organizer: 第47回セラミックス基礎科学討論会
  • Year and Date: 20090100
• [Presentation] 対向ターゲット式DCマグネトロンスパッタリング法によりPET基板上に作製した酸化亜鉛-酸化インジウム系透明導電膜 (2009)
  • Author(s): 渡邊隆之, 丸尾洋一, 坂本晃彦, 植野貴大, 河村亮輔, 富永喜久雄, 村井啓一郎, 森賀俊広
  • Organizer: 第47回セラミックス基礎科学討論会
  • Year and Date: 20090100
• [Presentation] Zn-In-Ga-O系ホモロガス化合物の構造変化と熱電特性 (2008)
  • Author(s): 吉成篤史, 山本紘士, 石田勝也, 村井啓一郎, 森賀俊広
  • Organizer: 日本セラミックス協会第21回秋期シンポジウム
  • Year and Date: 20080900
• [Presentation] PLD法により石英基板上へ作製したIn-Ga-Zn系酸化物透明導電性薄膜の特性 (2008)
  • Author(s): 續木隆志, 富永喜久雄, 丸山貴之, 三河通男, 森賀俊広
  • Organizer: 第69回応用物理学会学術講演会講演予稿集
  • Year and Date: 20080900
• [Presentation] PC基板上へのIn2O3-ZnO系酸化物透明導電膜の作製 (2008)
  • Author(s): 下村幸司, 富永喜久雄, 高田大輔, 助田祐志, 瀧田啓介, 村井啓一郎, 森賀俊広
  • Organizer: 平成19年度電気関係学会四国支部連合大会講演予稿集
  • Year and Date: 20080900
• [Presentation] In_2O_3-ZnO系酸化物透明導電膜へのGa_2O_3添加による影響 (2008)
  • Author(s): 坂本晃彦, 富永喜久雄, 下村幸司, 瀧田啓介, 森賀俊広, 中林一朗
  • Organizer: 平成19年度電気関係学会四国支部連合大会講演予稿集
  • Year and Date: 20080900
• [Presentation] 不純物添加によるIn-Zn-O系酸化物透明導電膜の特性への影響 (2008)
  • Author(s): 井上研一, 富永喜久雄, 續木貴志, 三河道男, 森賀俊広
  • Organizer: 平成19年度電気関係学会四国支部連合大会講演予稿集
  • Year and Date: 20080900
• [Presentation] Structural Analysis of Homologous Series of Zn_k(In, Ga)_2O_<k+3> (k=1, 3, 5) as Thermoelectric and Transparent Conducting Materials (2008)
  • Author(s): Toshihiro Moriga, Atsushi Yoshinari, Koji Yamamoto, Katsuya Ishida and Kei-ichiro Murai
  • Organizer: 2nd International Conference on Functional Materials and Devices
  • Place of Presentation: Kuala Lumpur([invited lecture])
  • Year and Date: 20080600
• [Presentation] In_2O_3-ZnO系酸化物透明導電膜へのGa_2O_3添加の影響(Vol.2) (2008)
  • Author(s): 坂本晃彦, 富永喜久雄, 下村幸司, 植野貴大, 瀧田啓介, 渡辺隆之, 森賀俊広, 中林一朗
  • Organizer: 第55回応用物理学関係連合講演会講演予稿集
  • Year and Date: 20080300
• [Presentation] PLD法によるIn-Ga-Zn系酸化物透明導電性薄膜 (2008)
  • Author(s): 續木貴志, 富永喜久雄, 井上研一, 三河通男, 森賀俊広, 中林一朗
  • Organizer: 第55回応用物理学関係連合講演会
  • Year and Date: 20080300
• [Presentation] Zn-In-Ga-O系層状ホモロガス化合物の結晶構造解析および熱電性能評価 (2008)
  • Author(s): 石田勝也, 山本紘士, 吉成篤史, 村井啓一郎, 森賀俊広
  • Organizer: 第46回セラミックス基礎科学討論会
  • Year and Date: 20080100
• [Presentation] PC基板上に製膜した酸化亜鉛-酸化インジウム系アモルファス薄膜へのAlドーピングによる特性向上 (2008)
  • Author(s): 瀧田啓介, 渡邊隆之, 下村幸司, 富永喜久雄, 村井啓一郎, 森賀俊広
  • Organizer: 第46回セラミックス基礎科学討論会
  • Year and Date: 20080100
• [Remarks] 森賀俊広 : 酸化亜鉛-酸化インジウム系アモルファス透明導電膜, 第3回産・官・学研究マッチング -夢の融合 中国四国エリアのセラミックス技術-, 2008年8月
• [Remarks] 森賀俊広 : ITO枯渇時代における新しい透明導電膜材料, -酸化亜鉛-酸化インジウム系ホモロガス化合物とIZOアモルファス薄膜-, 情報機構セミナー, 2008年5月