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2007 Fiscal Year Annual Research Report

ガスクロミック水素センサー材料の開発

Research Project

Project/Area Number 19560717
Research InstitutionJapan Atomic Energy Agency

Principal Investigator

山本 春也  Japan Atomic Energy Agency, 量子ビーム応用研究部門, 研究副主幹 (70354941)

Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) 高野 勝昌  独立行政法人日本原子力研究開発機構, 博士研究員 (80414572)
杉本 雅樹  独立行政法人日本原子力研究開発機構, 研究副主幹 (90354943)
吉川 正人  独立行政法人日本原子力研究開発機構, 研究主幹 (40354948)
Keywords水素 / 酸化タングステン / 薄膜 / イオンビーム
Research Abstract

Pt等の金属触媒を介して水素ガスに触れると濃青に着色(ガスクロミズム)する三酸化タングステン(WO_3)の着色性能と結晶構造等の関係を調べ、ガスクロミック水素センサー材料の開発を目指して研究を進めた。本年度は、スパッタリング法及びパルスレーザー蒸着法によりWO_3薄膜の作製し、1.WO_3膜の結晶構造と水素ガスによる着色性能。2.着色時のWO_3膜中の水素挙動について調べた。
1.アルゴンと酸素の混合ガス用いたスパッタリング法によりSiO_2基板上に基板温度(400〜600℃)を制御して、成長方向に一軸配向した柱状結晶から成るWO_3薄膜(厚さ:300nm)を形成した。WO_3薄膜の一軸配向性が高くなるとともに、水素による着色性能が向上することを見出した。さらに、パルスレーザー蒸着法により薄膜形成を行った結果、基板温度を500℃以上に保持することによりα-Al_2O_3R-面基板上に単斜晶WO_3(001)単結晶薄膜の作製に成功した。WO_3単結晶薄膜の結晶性と水素による着色性

  • Research Products

    (3 results)

All 2008 2007

All Journal Article (2 results) (of which Peer Reviewed: 2 results) Presentation (1 results)

  • [Journal Article] Structural and gasochromic properties of epitaxial WO_3 films prepared by pulsed laser deposition2008

    • Author(s)
      山本 春也
    • Journal Title

      Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B 266

      Pages: 802-806

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Hydrogen behavior in gasochromic tungsten oxide films investigated by elastic recoil detection analysis2008

    • Author(s)
      井上 愛知
    • Journal Title

      Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B 266

      Pages: 301-307

    • Peer Reviewed
  • [Presentation] Effect of ion irradiation on the gasochromism of WO_3 films2007

    • Author(s)
      山本 春也
    • Organizer
      第17回日本MRS学術シンポジウム
    • Place of Presentation
      東京
    • Year and Date
      2007-12-09

URL: 

Published: 2010-02-04   Modified: 2016-04-21  

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