2008 Fiscal Year Annual Research Report
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19560739
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| Research Institution | Sasebo National College of Technology |
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Principal Investigator |
原 要一郎 Sasebo National College of Technology, 機械工学科, 教授 (70099886)
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| Keywords | レーザ加工 / スクライブ加工 / 熱応力割断 / 脆性材料 / クロススクライブ |
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| Research Abstract |
FPD等の薄膜ガラスを,レーザにより発生させた熱応力を利用し,表面にのみ亀裂を進展させることで脆性材料にスクライブ線加工を施す技術がある.この手法は,レーザ焦点形状が楕円であることや,加熱直後を水により冷却するなどの条件が必要である.これまでの熱弾性解析で得られた,我々が提案する新しい2点照射の方法で,ガラスを高速スクライブ,レーザ割断を行うために,本研究では,2点間距離や出力,移動速度等と割断面状態の関連性などを実験から検証し,計算結果と併せて最適な加工条件設定について研究を行うことを目的としていた.そのために,以下のような当該年度は以下のような実施計画を立てた.(1)実験装置冷却ノズルの改良,(2)加熱2点間距離とスクライブ面形状,深さに関する検証実験,(3)各実験条件における熱弾性解析
項目(1)については当初の計画通りノズルを追加して実験を行い,20〜30mm/s程度の高速化に成功した.また,スクライブ加工が成立する移動速度とレーザ出力の条件について,実験によりその整理を行った.
項目(2),(3)については,2点間距離とスクライブ深さが比例する領域について確認し,スクライブ面のそりが発生する条件を実験で確認した.また,その条件について熱弾性解析を行い,2点間距離の差による冷却時の内部温度場の深さ位置,つまり圧縮応力場の深さ位置が浅く,亀裂を進展させる引張応力が大きい場合に,そりが発生していることを示すことができた.
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Research Products
(3 results)
