• Search Research Projects
  • Search Researchers
  • How to Use
  1. Back to project page

2008 Fiscal Year Annual Research Report

マイクロマシン技術の導入によるパルス強磁場中微小スピン計測の高感度化

Research Project

Project/Area Number 19684012
Research InstitutionKobe University

Principal Investigator

大道 英二  Kobe University, 理学研究科, 准教授 (00323634)

Keywordsマイクロマシン / パルス強磁場 / カンチレバー
Research Abstract

平成20年度は微細加工装置を用いて本格的にマイクロマシン作製に取り掛かった。まず、微小なパターンを転写するために必要なマスクを安価に製作するため、マスク作製装置を自作した。写真感光板を用いて最小で20ミクロン線幅のパターンを作製することに成功した。また、作製したパターンを用いてドライエッチングならびにウェットエッチングの詳細な条件だしを行った。ドライエッチングについてはCF_4ガスを用い、段差計の測定から400 nm/minという値を得た。ウェットエッチングについてはTMAHを用いて、1ミクロン/minという値をえることができた。これによりいよいよ本格的な微小3次元構造の作製を行う準備が整った。また、カンチレバーの変位を検出するため新たなファイバーレーザー光学系を構築した。具体的には周波数安定度の高い1550 nm帯のDFBレーザーを用いた。カンチレバーとファイバー端面からなるFabry-Perot干渉計を用いて、リアルタイムで0.1 nmの検出分解能を実現した。
また平行してカンチレバーを用いた磁化検出電子スピン共鳴の開発をおこなった。光変調法とロックインアンプを組み合わせた方法により、従来の測定方法より1000倍以上高い感度を実現することに成功した。その結果、定常磁場中では315 GHzの高周波領域まで電子スピン共鳴を観測することに成功した。この値はカンチレバーを用いた電子スピン共鳴としては世界最高周波数にあたる。また、パルス磁場中での測定にも着手し、これまでと比較して2桁程度高い感度を実現した。この成果により、更に高い周波数領域における電子スピン共鳴測定が可能になるものと期待できる。

  • Research Products

    (11 results)

All 2009 2008 Other

All Journal Article (3 results) (of which Peer Reviewed: 3 results) Presentation (8 results)

  • [Journal Article] High-frequency electron spin resonance system using a microcantilever and a pulsed magnetic field2009

    • Author(s)
      E. Ohmichi, N. Mizuno, M. Kimata, H. Ohta, and T. Osada
    • Journal Title

      Rev. Sci. Instrum 80

      Pages: 013904/1-6

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Magnetic detection of high-resolution electron spin resonance using a microcantilever in the millimeter-wave region up to 240 GHz2008

    • Author(s)
      E. Ohmichi, N. Mizuno, M. Kimata, and H. Ohta
    • Journal Title

      Rev. Sci. Instrum 79

      Pages: 103903/1-5

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Multi-Frequency ESR Using a Microcantilever in the Millimeter Wave Region

    • Author(s)
      E. Ohmichi, N. Mizuno, M. Kimata, and H. Ohta
    • Journal Title

      J. Phys. Conf. Ser. (to be published) (未定)

    • Peer Reviewed
  • [Presentation] マイクロカンチレバーを用いた微小トルク測定法の開発と分子性導体への応用2009

    • Author(s)
      大道英二
    • Organizer
      日本物理学会第64回年次大会
    • Place of Presentation
      立教大学
    • Year and Date
      2009-03-30
  • [Presentation] カンチレバーESRの高感度化に向けたMEMS加工技術の開発2009

    • Author(s)
      小西和也、大道英二、太田仁
    • Organizer
      日本物理学会第64回年次大会
    • Place of Presentation
      立教大学
    • Year and Date
      2009-03-28
  • [Presentation] テラヘルツESRに向けたカンチレバーESR測定法の開発2008

    • Author(s)
      大道英二、水野議覚、木俣基、太田仁
    • Organizer
      日本赤外線学会第18回研究発表会
    • Place of Presentation
      神戸大学
    • Year and Date
      2008-10-30
  • [Presentation] 光変調法を用いたミリ波領域におけるカンチレバーESR測定2008

    • Author(s)
      水野議覚、大道英二、木俣基、太田仁
    • Organizer
      日本赤外線学会第18回研究発表会
    • Place of Presentation
      神戸大学
    • Year and Date
      2008-10-30
  • [Presentation] カンチレバーを用いたテラヘルツ波ESR装置の高感度化に向けたMEMS加工技術の開発2008

    • Author(s)
      小西和也、大道英二、太田仁
    • Organizer
      日本赤外線学会第18回研究発表会
    • Place of Presentation
      神戸大学
    • Year and Date
      2008-10-30
  • [Presentation] カンチレバーを用いた多周波数・高分解能ESR装置の開発2008

    • Author(s)
      大道英二、水野議覚、木俣基、太田仁
    • Organizer
      第47回電子スピンサイエンス学会年会
    • Place of Presentation
      九州大学
    • Year and Date
      2008-10-03
  • [Presentation] 光変調検出法を用いた高感度カンチレバーESR測定2008

    • Author(s)
      水野議覚、大道英二、木俣基、太田仁
    • Organizer
      第47回電子スピンサイエンス学会年会
    • Place of Presentation
      九州大学
    • Year and Date
      2008-10-02
  • [Presentation] 光変調検出法を用いたパルス磁場下におけるカンチレバーESR測定2008

    • Author(s)
      水野議覚、大道英二、木俣基、太田仁
    • Organizer
      日本物理学会2008年秋季大会
    • Place of Presentation
      岩手大学
    • Year and Date
      2008-09-23

URL: 

Published: 2010-06-11   Modified: 2016-04-21  

Information User Guide FAQ News Terms of Use Attribution of KAKENHI

Powered by NII kakenhi