2008 Fiscal Year Final Research Report
Fabrication of nano sized solid oxide fuel cells based on nano-ionics by bottom-up processes
| Project/Area Number |
19710117
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| Research Category |
Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
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| Allocation Type | Single-year Grants |
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| Research Field |
Microdevices/Nanodevices
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| Research Institution | Tohoku University |
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Principal Investigator |
IGUCHI Fumitada Tohoku University, 大学院工学研究科, 助教 (00361113)
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| Project Period (FY) |
2007 – 2008
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| Keywords | ナノデバイス造形 / PLD / 残留応力制御 / 一室型固体酸化物形燃料電池 |
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| Research Abstract |
本研究はMEMSデバイスの電源としても適用可能な固体酸化物形燃料電池(SOFC)を従来の手法ではなく,MEMSプロセスに適合したドライプロセスのみを用いてシリコンウェハー上に作り上げたものである。SOFCの主構成材料であるセラミックスとシリコンウェハーは性質が異なり,残留応力等による破壊の問題が多く発生したが,SOFCの構造に応力に比較的対抗性の高い一室型構造を採用した結果,SOFCセルの構築に成功した。しかし機電力等電池としての性能は低いため今後の構造,材料面での追加が必要であることも同時に明らかになった。
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