2008 Fiscal Year Final Research Report
Generation of ZnO film thermo-electric device for high efficient thermoelectric conversion of waste heat
| Project/Area Number |
19740345
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| Research Category |
Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
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| Allocation Type | Single-year Grants |
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| Research Field |
Plasma science
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| Research Institution | Saga University |
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Principal Investigator |
MISAWA Tatsuya Saga University, 理工学部, 助教 (70346873)
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| Project Period (FY) |
2007 – 2008
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| Keywords | 放電プラズマ焼結法 / 熱電変換材料 / 酸化亜鉛セラミックス / 金属酸化物薄膜材料 / プラズマスパッタリング |
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| Research Abstract |
廃熱を高効率で電力に変換する薄膜熱電素子の実現の為に,放電プラズマ焼結法(SPS法)を用いた酸化亜鉛系セラミックスの焼結,本焼結法の固有パラメータである試料内部電流の磁気プローブを用いた非接触・定量的計測と焼結挙動との比較を行い,焼結メカニズムの解明,制御,最適化およびプラズマ成膜を用いた熱電材料の薄膜化を目指した.
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