2007 Fiscal Year Annual Research Report
レーザー転写を用いた酸化物ガラス微小球のオンデマンド作製技術の開発
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19760040
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| Research Institution | National Institute of Advanced Industrial Science and Technology |
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Principal Investigator |
奈良崎 愛子 National Institute of Advanced Industrial Science and Technology, 光技術研究部門, 研究員 (40357687)
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| Keywords | レーザー転写 / 微小球 / 酸化物 / オンデマンド作製 / 微小液滴 / 微細パターニング |
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| Research Abstract |
微小球オプティクスは,素子の小型集積化を可能にするだけでなく,光閉じ込め効果による独自機能を有する,次世代オプティクスとして注目を集めている。ただし,その応用には,マイクロメートルサイズの微小球自体ではなく,微小球を組み込んだ光回路としてのハンドリングが要求される。よって,微小球オプティクス作製には,微小球の構造・物性制御だけでなく,光回路中の必要部位に再現性良く位置制御して固定化するオンデマンド作製技術が不可欠である。本研究では,我々が独自開発したナノ秒パルスレーザーアブレーションにより生じる推進力を用いた微小液滴のレーザー転写法を新たに酸化物材料に適用し,サイズ・堆積位置を高度に制御した酸化物ガラス微小球のオンデマンド作製技術の開発を目指す。本年度は当該レーザー転写法を酸化物に新規適用し,酸化物の微細パターニングに成功した。具体的には,紫外波長域まで高透明性を有するシリカガラス透明支持板を用い,その上にインジウム錫複合酸化物薄膜をスパッタリング法により室温成膜,転写用原料膜を調製した。作製した原料膜に対して,ナノ秒紫外パルスレーザー光を,透明支持板側からシングルショット集光し,レーザーフルエンス等照射条件を最適化することで,対向基板上へのマイクロメートルスケールでの転写を可能とした。更に,ガルバノミラー/fθレンズ走査集光系を本レーザー転写システムに新規導入することで,マスクレスでの微細ドットパターニングを実現できた。また,本研究の最終目的である微小球のオンデマンド作製に向けて,基板上堆積位置を現状より高精度に決定できるシステム構築を行った。
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Research Products
(1 results)
