2008 Fiscal Year Final Research Report
Three dimensional multi-layered flow generator and its application
| Project/Area Number |
19760172
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| Research Category |
Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
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| Allocation Type | Single-year Grants |
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| Research Field |
Intelligent mechanics/Mechanical systems
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| Research Institution | Kagawa University (2008)
Kyoto University (2007) |
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Principal Investigator |
SUZUKI Takaaki Kagawa University, 工学部, 准教授 (10378797)
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| Project Period (FY) |
2007 – 2008
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| Keywords | マイクロ流体システム / microTAS / フォトリソグラフィ / マイクロミキサ |
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| Research Abstract |
本研究では、単一のマスクパターンからアライメントレスで複雑な3次元構造を作製するフォトリソグラフィ法を提案するとともに、提案するプロセスの具体的な応用例として3次元多層流を用いた高速マイクロミキサの試作・評価を行った。提案するフォトリソグラフィ技術は、遮光用のメタル層がパターニングされたガラス基板に紫外線硬化性樹脂を直接塗布し、裏面から紫外線を傾斜露光することによって、単一のマスクパターンから3次元的な構造を作製することができる。
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