2008 Fiscal Year Final Research Report
Realization of transparent conducting TiO_2-based polycrystalline films
| Project/Area Number |
19760475
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| Research Category |
Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
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| Allocation Type | Single-year Grants |
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| Research Field |
Inorganic materials/Physical properties
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| Research Institution | Kanagawa Academy of Science and Technology |
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Principal Investigator |
YAMADA Naoomi Kanagawa Academy of Science and Technology, 重点研究室透明機能材料グループ, 研究員 (50398575)
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| Project Period (FY) |
2007 – 2008
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| Keywords | 薄膜プロセス |
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| Research Abstract |
スパッタ法を用いて作製した、NbドープTiO_2多結晶薄膜で透明導電性を実現させることに取り組んだ。H19年度は、アモルファス薄膜をアニールで結晶化させることによって、高い導電性が得られることを示した。実用的な透明導電体に要求される抵抗率(ρ=5×10^<-4>Ωcm)に迫るρ=6.5×10^<-4>Ωcmを得ることに成功した。H21年度は、アニールを省略し、直接ガラス上に形成した多結晶薄膜で透明導電性を発現させることに取り組んだ。「セルフシード層法」という手法を開発し、ρ=1.1×10^<-3>Ωcmを得ることができた。本研究により、TiO_2系透明導電体の実用を視野に入れてもよい状況になってきた。
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[Journal Article] Electronic band structure of transparent conductor : Nb-doped anatase TiO_22008
Author(s)
T. Hitosugi, H. Kamisaka, K. Yamashita, H. Nogawa, Y. Furubayashi, S. Nakao, N. Yamada, A. Chikamatsu, H. Kumigashira, M. Oshima, Y. Hirose, T. Shimada, and T. Hasegawa
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Journal Title
Appl. Phys. Express 1
Pages: 111203-1-111203-3
Peer Reviewed
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