2008 Fiscal Year Annual Research Report
フォトレジスト廃液からの水酸化テトラアルキルアンモニウムの分離回収プロセスの開発
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19760530
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| Research Institution | The University of Kitakyushu |
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Principal Investigator |
西浜 章平 The University of Kitakyushu, 国際環境工学部, 准教授 (00347668)
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| Keywords | ゼオライト / 水酸化テトラアルキルアンモニウム / 吸着 |
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| Research Abstract |
本研究では、吸着法を用いた、フォトレジスト廃液からの水酸化テトラアルキルアンモニウム(TMAH)の低コストかつ省スペースな分離・回収プロセスについて、パイプエンドで廃水処理が可能なシステムを確立することを目的として研究を進めてきた。平成20年度では、19年度に研究開発したゼオライト型の吸着剤に加えて、TMAHを鋳型としたゼオライトAおよびXの調製を行った。その結果、TMAHを鋳型としたゼオライトXが最も高い吸着能を有することが示された。これは、細孔径が大きくなったためであると考えられる。そこで、TMAH鋳型ゼオライトXを用いたカラム吸着実験を行った。カラム操作においては、粉末状のゼオライトを用いた場合では、圧力損失のためにポンプ動力が大きくなるため、アルミナ系のバインダーを用いて造粒を行った。造粒したゼオライトを用いた場合でも、粉末状のゼオライトと同様に、アルカリ領域において効率的な吸着が可能であった。また、溶離については、希塩酸を用いることで定量的に行うことが可能であった。加えて、実プロセスへの適用のために、模擬廃液として、フェノールとTMAHの混合溶液をカラムにより処理した結果、TMAHの吸着-溶離挙動に変化は見られず、有機系の混合物存在下においても本吸着系の利用が可能であることが示された。また、吸着-溶離後のゼオライトを用いて、再度カラム実験を行った結果、TMAHの溶離曲線に変化は見られず、ゼオライト吸着剤の再利用も可能であった。
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