2008 Fiscal Year Final Research Report

Separation and Recovery Process of Tetraalkylammonium Hydroxidefrom Photoresist Waste

Research Project

Project/Area Number	19760530
Research Category	Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
Allocation Type	Single-year Grants
Research Field	Properties in chemical engineering process/Transfer operation/Unit operation
Research Institution	The University of Kitakyushu
Principal Investigator	NISHIHAMA Syouhei The University of Kitakyushu, 国際環境工学部, 准教授 (00347668)
Project Period (FY)	2007 – 2008
Keywords	反応・分離工学 / 廃棄物処理 / イオン交換
Research Abstract	本研究では、吸着法を用いた、フォトレジスト廃液からの水酸化テトラアルキルアンモニウム(TAAH)の低コストかつ省スペースな分離・回収プロセスについて、エンドオブパイプで廃水処理が可能なシステムを確立することを目的として研究を進めた。ゼオライトAおよびX吸着剤を開発し、バッチ吸着特性を明らかにした。加えて造粒吸着剤を開発し、カラム操作でのTAAHの吸着分離プロセスを開発した。