Formation of catalytic nanoparticles on metal electrodes for carbon nanotube interconnects

2008 Fiscal Year Final Research Report

• Project/Area Number: 19860068
• Research Category: Grant-in-Aid for Young Scientists (Start-up)
• Allocation Type: Single-year Grants
• Research Field: Electronic materials/Electric materials
• Research Institution: Waseda University
• Principal Investigator: IWASAKI Takayuki Waseda University, 理工学術院, 助手 (80454031)
• Project Period (FY): 2007 – 2008
• Keywords: カーボンナノチューブ / LSI配線 / イオン注入 / 触媒微粒子

Research Abstract

カーボンナノチューブ配線実現のために重要な金属膜上への触媒形成をイオン注入により行い、その触媒からカーボンナノチューブを合成することに成功した。Niイオンを直接金属膜に注入するとカーボンナノチューブ合成のための触媒機能を失ってしまうが、金属膜上にバッファ層を堆積させることにより活性な触媒微粒子の形成に成功した。さらに、伝導特性向上に必要な低欠陥カーボンナノチューブ合成を無水素雰囲気下での化学気相合成法により実現した。

Research Products

• [Journal Article] Vertically aligned carbon nanotube growth from Ninanoparticles prepared by ionimplantation (2008)
  • Author(s): T. Iwasaki, S. Mejima, T. Koide, R. Morikane, H. Nakayama, T. Shinada, I. Ohdomari, H. Kawarada
  • Journal Title: Diamond and Related Materials 17 Pages: 1443-1446
  • Peer Reviewed
• [Presentation] Mechanism Analysis of Interrupted Growth of Single-Walled Carbon Nanotube Arrays (2008)
  • Author(s): T. Iwasaki, J. Robertson, H. Kawarada
  • Organizer: Nanotube08
  • Place of Presentation: Motpellier, France
  • Year and Date: 20080600
• [Presentation] 集束イオンビームにより打ち込まれたNi触媒からのCNT成長 (2007)
  • Author(s): 中山智, 森金亮太, 岩崎孝之, 小出敬, 中山英樹, 品田賢宏, 大泊巌, 川原田洋
  • Organizer: 第21回ダイヤモンドシンポジウム
  • Place of Presentation: 長岡技術科学大学
  • Year and Date: 20071100
• [Presentation] Vertically Aligned Carbon Nanotubes from Ni Catalysts Implanted by Focused-Ion-Beam (2007)
  • Author(s): T. Iwasaki, T. Koide, R. Morikane, S. Mejima, H. Nakayama, T. Shinada, I. Ohdomari, H. Kawarada
  • Organizer: 18th European Conference on Diamond, Diamond-Like Materials, Carbon Nanotubes, and Nitrides
  • Place of Presentation: Berlin, Germany
  • Year and Date: 20070900
• [Presentation] 集束イオンビームによる打ち込みNi触媒からのCNT成長 (II) (2007)
  • Author(s): 森金亮太, 岩崎孝之, 小出敬, 目島壮一, 中山英樹, 品田賢宏, 大泊巌, 川原田洋
  • Organizer: 2007年秋季第68回応用物理学会学術講演会
  • Place of Presentation: 北海道工業大学
  • Year and Date: 20070900