Research Project
Grant-in-Aid for Scientific Research (A)
本研究では、形状精度50 nm(P-V)のウォルターミラーをさらに高精度化するとともに、それを用いた日本発の革新的なX線光学システムを開発する。特に本研究課題では、高次高調波(HHG)をウォルターミラーに照明して集光ビームの焦点を計測し、集光ビームの波面誤差を回復させることを試みる。さらにイオンビームスパッタ法による形状修正装置を活用して、回転体形状をもつミラー内面の形状を修正する。本研究チームの研究成果は、世界的に注目されており、準備状況も良好であり、推進すべき課題である。