2022 Fiscal Year Annual Research Report
高精度ウォルターミラー作製による超短パルスX線イメージング法の開発
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19H00736
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| Research Institution | The University of Tokyo |
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Principal Investigator |
三村 秀和 東京大学, 大学院工学系研究科(工学部), 教授 (30362651)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
中川 桂一 東京大学, 大学院工学系研究科(工学部), 講師 (00737926)
本山 央人 東京大学, 大学院理学系研究科(理学部), 助教 (00822636)
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| Project Period (FY) |
2019-04-01 – 2023-03-31
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| Keywords | 軟X線 / Ｘ線ミラー / Ｘ線結像 / ウォルターミラー |
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| Outline of Annual Research Achievements |
本研究では、ウォルターミラーを高精度化するとともに、高精度ウォルターミラーによる革新的なX線光学システムを開発する。具体的には波長1～10 nmの領域において、「シングルショットフェムト秒X線イメージングシステム」をX線自由電子レーザー施設SACLAに構築することが目的である。最終年度は下記の項目の研究を行った。
1.ウォルターミラー作製におけるマンドレルの高精度化と転写精度の向上：OAM法の導入によるマンドレルの高精度化を行った。新しくマンドレル加工装置を設計開発した。また、Ni電鋳の高精度化を図るとともに、銅電鋳法を試みた。電析条件の再検討により転写精度を向上させた。
2. 内面形状測定の確立：ミラー内面の形状計測を設計光学系において実施するために、SPring-8においてウォルターミラー用の波面計測光学系を構築した。
3.ウォルターミラー内面の形状修正法の開発：ミラー内面において有機粒子のジェット噴射加工により内面の形状誤差を修正できることを確認した。ミラー内面の高精度化を行い、SPring-8におけるタイコグラフィ計測により内面形状の変化を定量的に評価した。
4. 顕微ビームラインの光学設計：2021年度に構築したウォルターミラーによるXFELによる顕微イメージングを実施した。また、2波長での同時X線イメージングにより細胞観察を実施した。形状誤差が改善されたマンドレルを用いて作製されたウォルターミラーにより、X線イメージ像が大幅に改善されたことを確認した。
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| Research Progress Status |
令和4年度が最終年度であるため、記入しない。
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| Strategy for Future Research Activity |
令和4年度が最終年度であるため、記入しない。
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Research Products
(13 results)
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[Journal Article] Fabrication of soft x-ray monolithic Wolter mirror based on surface scanning measurement using touch probe2022
Author(s)
Takehiro Kume, Kentaro Hiraguri, Yoichi Imamura, Yusuke Matsuzawa, Takahiro Saito, Hiroaki Miyashita, Yoko Takeo, Yasunori Senba, Hikaru Kishimoto, Haruhiko Ohashi,Hirokazu Hashizume, Hidekazu Mimura
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Journal Title
Review of Scientific Instruments
Volume: 93
Pages: 063101-1-9
DOI
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