2019 Fiscal Year Annual Research Report
動的位相同期制御による局在光場を用いた次世代微細機能構造のナノ欠陥超解像計測
| Project/Area Number |
19H02036
|
|---|
| Research Institution | The University of Tokyo |
|---|
Principal Investigator |
高橋 哲 東京大学, 先端科学技術研究センター, 教授 (30283724)
|
|---|
| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
道畑 正岐 東京大学, 大学院工学系研究科(工学部), 准教授 (70588855)
|
|---|
| Project Period (FY) |
2019-04-01 – 2022-03-31
|
| Keywords | 超解像 / ナノ計測 |
|---|
| Outline of Annual Research Achievements |
本申請研究は，バイオ分野で発展著しい螢光超解像技術をベースにして，原理的に螢光修飾が不要で製造現場適用が可能な新しい光学的超解像計測評価技術の実現を目指す．具体的には，実用性の高い超解像法として確立されてきた構造照明螢光顕微法（SIM）に着目し，位相同期を行った参照光波と融合することで，コヒーレント結像下においても超解像観察機能を発現可能な次世代微細機能構造の超解像欠陥計測技術の開発を目指す．
本年度においては，微細構造照明を基礎とした超解像アルゴリズムの構築を行うとともに，位相制御型局在光場の同期機構の設計・試作を行った．さらに，基板構造変調型微細照明と機械学習を利用したサブ100nm超解像顕微法への展開可能性について検討を行い，有効性を確認した．
|
| Current Status of Research Progress |
Current Status of Research Progress
2: Research has progressed on the whole more than it was originally planned.
Reason
本年度においては，微細構造照明を基礎とした超解像アルゴリズムの構築を行うとともに，位相制御型局在光場の同期機構の設計・試作を行った．さらに，基板構造変調型微細照明と機械学習を利用したサブ100nm超解像顕微法への展開可能性について検討を行い，有効性を確認できたため．
|
| Strategy for Future Research Activity |
今年度構築した，独自開発の超解像アルゴリズムにおいて，特に製造現場で重要となる実環境時の様々なノイズに対する耐性評価を行う．加えて今年度試作した位相制御光場の同期機構が，上述の超解像基本アルゴリズムを適用可能な実験システム要素技術としての機能を満足しているか検証実験を通して確認する．また基板構造変調型微細照明と機械学習を利用したサブ100nm超解像顕微法について実験的検証を実現するための基礎実験装置構成について検討を進める．
|
