2020 Fiscal Year Annual Research Report
動的位相同期制御による局在光場を用いた次世代微細機能構造のナノ欠陥超解像計測
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19H02036
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| Research Institution | The University of Tokyo |
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Principal Investigator |
高橋 哲 東京大学, 先端科学技術研究センター, 教授 (30283724)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
道畑 正岐 東京大学, 大学院工学系研究科(工学部), 准教授 (70588855)
門屋 祥太郎 東京大学, 先端科学技術研究センター, 助教 (60880234)
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| Project Period (FY) |
2019-04-01 – 2022-03-31
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| Keywords | 超解像 / コヒーレント結像 / ナノ計測 / 微細機能構造 |
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| Outline of Annual Research Achievements |
本申請研究は，バイオ分野で発展著しい螢光超解像技術をベースにして，原理的に螢光修飾が不要で製造現場適用が可能な新しい光学的超解像計測評価技術の実現を目指す．具体的には，実用性の高い超解像法として確立されてきた構造照明螢光顕微法（SIM）に着目し，位相同期を行った参照光波と融合することで，コヒーレント結像下においても超解像観察機能を発現可能な次世代微細機能構造の超解像欠陥計測技術の開発を目指す．
本年度においては，新たにコヒーレント結像下における構造照明光学応答の定式化を実現した．これにより，コヒーレント結像下において超解像が実現できるだけでなく，従来の強度といった光学応答にとどまらず，すべての物理的光学応答に相当する複素振幅光学応答での超解像計測の可能性があることを示唆することができた．上述の定式化に基づき，まずはコヒーレント結像下において振幅超解像計測法の具体的な手法提案を実現した．
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| Current Status of Research Progress |
Current Status of Research Progress
2: Research has progressed on the whole more than it was originally planned.
Reason
本年度においては，新たにコヒーレント結像下における構造照明光学応答の定式化を実現した．これにより，コヒーレント結像下において超解像が実現できるだけでなく，従来の強度といった光学応答にとどまらず，すべての物理的光学応答に相当する複素振幅光学応答での超解像計測の可能性があることを示唆することができた．上述の定式化に基づき，まずはコヒーレント結像下において振幅超解像計測法の具体的な手法提案を実現できたため．
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| Strategy for Future Research Activity |
今年度実現できたヒーレント結像下における構造照明光学応答の定式化に基づき，コヒーレント結像下において，振幅（強度）光学応答のみならず，複素振幅光学応答での超解像計測法の理論的構築を目指す．
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Research Products
(13 results)
