2021 Fiscal Year Annual Research Report
動的位相同期制御による局在光場を用いた次世代微細機能構造のナノ欠陥超解像計測
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19H02036
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| Research Institution | The University of Tokyo |
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Principal Investigator |
高橋 哲 東京大学, 先端科学技術研究センター, 教授 (30283724)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
門屋 祥太郎 東京大学, 先端科学技術研究センター, 助教 (60880234)
道畑 正岐 東京大学, 大学院工学系研究科(工学部), 准教授 (70588855)
西川 正俊 法政大学, 生命科学部, 准教授 (30444516)
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| Project Period (FY) |
2019-04-01 – 2022-03-31
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| Keywords | 超解像 / ナノ計測 / 微細機能構造 |
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| Outline of Annual Research Achievements |
本申請研究は，バイオ分野で発展著しい螢光超解像技術をベースにして，原理的に螢光修飾が不要で製造現場適用が可能な新しい光学的超解像計測評価技術の実現を目指す．具体的には，実用性の高い超解像法として確立されてきた構造照明螢光顕微法（SIM）に着目し，位相同期を行った参照光波と融合することで，コヒーレント結像下においても超解像観察機能を発現可能な次世代微細機能構造の超解像欠陥計測技術の開発を目指す．
前年度までに定式化を行った，コヒーレント結像下における構造照明光学応答の定式化結果に基づき，振幅のみならず，位相も含めた複素振幅超解像計測法の構築に成功した．提案手法を適用することで，ラインアンドスペース20nmの微細周期位相構造（位相変動pi/3）に対して，20nmの位相欠陥を検出可能（NA0.2，波長405nmの結像系）であることを理論的に明らかにした．
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| Research Progress Status |
令和3年度が最終年度であるため、記入しない。
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| Strategy for Future Research Activity |
令和3年度が最終年度であるため、記入しない。
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