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2021 Fiscal Year Annual Research Report

Nano particle sizing method based on Brownian motion analysis for the system of atto gram particles

Research Project

Project/Area Number 19H02043
Research InstitutionKyushu University

Principal Investigator

林 照剛  九州大学, 工学研究院, 准教授 (00334011)

Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) 黒河 周平  九州大学, 工学研究院, 教授 (90243899)
Project Period (FY) 2019-04-01 – 2022-03-31
Keywordsナノ粒子 / 粒度分布 / ブラウン運動 / 並進拡散係数 / 回転拡散係数 / 粘性係数
Outline of Annual Research Achievements

研磨砥粒などに利用されるナノ粒子の粒度分布評価は,ナノ粒子の品質管理の観点で重要な技術であるが,ナノ粒子の観察やハンドリングの困難さがあり,その粒径計測結果の信頼性については 様々な議論が行われている.研究代表者は,砥粒ナノ粒子に用いられる粒径20nmから500nmの粒子について,測定データの信頼性を確保するため,粒子個数ベースの粒度分布(幾何学径)を計測する方法として,ナノ粒子チップを用いた粒度分布評価技術を提案し,多峰性の分布を持つナノ粒子の粒度分布の測定を行った.また,溶媒中のナノ粒子の粒度分布の拡散運動を詳細に解析するためのナノ粒子の回転拡散係数および並進拡散係数の一括計測システムを計測し,ナノ粒子の拡散係数計測によるナノ粒子の粒度分布計測を行う際に,誤差要因となりうる溶媒のナノ粒子の拡散運動に対する粘性抵抗係数を正確に評価する方法を提案し,提案手法の妥当性について実験的な検証を行った

Research Progress Status

令和3年度が最終年度であるため、記入しない。

Strategy for Future Research Activity

令和3年度が最終年度であるため、記入しない。

  • Research Products

    (4 results)

All 2022 2021

All Journal Article (1 results) (of which Peer Reviewed: 1 results) Presentation (3 results) (of which Int'l Joint Research: 3 results)

  • [Journal Article] Measurement of molar concentration spectra for nanoparticle with multi-modal nanoparticle size distribution using nanoparticle chip2022

    • Author(s)
      Jaqing Zhu, Terutake Hayashi, Syuhei Kurokawa
    • Journal Title

      Precision Engineering

      Volume: 74 Pages: 460-468

    • DOI

      10.1016/j.precisioneng.2021.08.008.

    • Peer Reviewed
  • [Presentation] ナノ粒子チップを用いた多分散粒子の粒度分布計測に関する研究(第三報) ―AFMを用いた高さ相当径の評価2022

    • Author(s)
      朱家慶,林照剛,黒河周平
    • Organizer
      2022年度精密工学会春期全国大会
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] Nanoparticle sizing for CMP slurry using nanoparticle chip2021

    • Author(s)
      Jiaqing ZHU, Terutake HAYASHI and Syuhei KUROKAWA
    • Organizer
      The 10th International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Center(LEM21)
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] Measurement of molar concentration spectrum based on number-weighted particle size distribution for poly-dispersed particles using nanoparticle chip2021

    • Author(s)
      Jiaqing Zhu, Terutake Hayashi, Syuhei Kurokawa
    • Organizer
      XXIII IMEKO World Congress August 30-September 3, 2021, Yokohama, Japan
    • Int'l Joint Research

URL: 

Published: 2022-12-28  

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