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2021 Fiscal Year Annual Research Report

Micro cryogenic piezoelectric transducers for non contact drive actuator

Research Project

Project/Area Number 19H02054
Research InstitutionOkayama University

Principal Investigator

神田 岳文  岡山大学, 自然科学学域, 教授 (30346449)

Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) 山口 大介  岡山大学, 自然科学学域, 助教 (00735657)
Project Period (FY) 2019-04-01 – 2022-03-31
Keywordsアクチュエータ / トランスデューサ / 超音波振動子 / 圧電材料 / 低温環境
Outline of Annual Research Achievements

極低温環境に対応した圧電アクチュエータによる小型の非磁性・非接触駆動機構を実現するために、1.極低温環境用アクチュエータの小型化を実現する新たな予圧機構を用いた圧電振動子に関する改良、2.この振動子を利用した極低温環境下でヘリウム中での音響放射圧を利用した浮上機構の評価、3.極低温環境下でヘリウム中での音響粘性力を利用した小型の駆動機構の検討の3点について研究を行った。1.の項目ではこれまでに有効性を確認しているボルトを用いず材料の温度特性を利用した予圧機構について、アクチュエータ用トランスデューサとしての性能向上を目的とした改良を行った。これまでの成果に基づき、温度依存性を考慮して理論的に導出した関係式と、低温環境を想定した有限要素法シミュレーションを用いて、予圧印加機構の各パラメータの影響について評価を行った。この結果に基づいて振動子を試作し、低温環境評価装置(窓付きクライオスタット内)を使用し、レーザドップラ振動計とレーザ変位計により振動速度、およびその周波数特性について測定を行うことにより、同構造振動子の設計手法に関する提案の有効性を示した。2.の項目では、1.の項目の結果に基づいて製作した予圧機構を持つ圧電振動子を使用し、低温装置内のヘリウム気体環境下で小型対象物の浮上実験を行い、低温環境で対象物を非接触で駆動できることを示した。3.の項目では、昨年度の検討内容である非接触回転駆動を目的とした音響粘性流生成条件に関するシミュレーション結果に基づき試作した非接触回転駆動機構について低温環境評価装置内での評価を行った。評価にあたっては1.2.の項目での評価方法に加え、温度環境に対応した調整機構を製作して設置した。実験の結果、非接触状態での粘性力の作用については確認できたものの、測定の上では分解能の課題が残った。

Research Progress Status

令和3年度が最終年度であるため、記入しない。

Strategy for Future Research Activity

令和3年度が最終年度であるため、記入しない。

  • Research Products

    (4 results)

All 2021

All Journal Article (1 results) Presentation (3 results) (of which Int'l Joint Research: 1 results,  Invited: 1 results)

  • [Journal Article] A Transducer for Micro Cryogenic Actuator using Novel Preload Mechanism without Bolt-clamping2021

    • Author(s)
      Kanda Takefumi、Yagi Kairi、Nishida Takumi、Yamaguchi Daisuke、Wakimoto Shuichi
    • Journal Title

      Proceedings of 2021 IEEE International Ultrasonics Symposium

      Volume: 2021 Pages: 1-3

    • DOI

      10.1109/IUS52206.2021.9593366

  • [Presentation] 極低温環境用超音波振動子での熱応力を利用した予圧印加の検討2021

    • Author(s)
      八木海吏,西田匠,神田岳文,山口大介,脇元修一
    • Organizer
      2021年度精密工学会春季大会学術講演会
  • [Presentation] 極低温環境用超音波振動子での予圧印加の評価に関する検討2021

    • Author(s)
      八木海吏,西田匠,神田岳文,山口大介,脇元修一
    • Organizer
      2021年度精密工学会秋季大会学術講演会
  • [Presentation] Evaluation of a Transducer for Micro Actuator Using Novel Preload Mechanism Under Cryogenic Condition2021

    • Author(s)
      Takefumi Kanda
    • Organizer
      2021 International Workshop on Piezoelectric Materials and Applications in Actuators
    • Int'l Joint Research / Invited

URL: 

Published: 2022-12-28  

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