• Search Research Projects
  • Search Researchers
  • How to Use
  1. Back to project page

2019 Fiscal Year Annual Research Report

GHz帯横波斜入射の複素反射率測定による抗原抗体反応の高感度粘弾性計測

Research Project

Project/Area Number 19H02202
Research InstitutionWaseda University

Principal Investigator

柳谷 隆彦  早稲田大学, 理工学術院, 准教授 (10450652)

Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) 高柳 真司  同志社大学, 生命医科学部, 助教 (00735326)
吉田 憲司  千葉大学, フロンティア医工学センター, 助教 (10572985)
鈴木 雅視  山梨大学, 大学院総合研究部, 助教 (60763852)
Project Period (FY) 2019-04-01 – 2022-03-31
Keywords圧電薄膜
Outline of Annual Research Achievements

抗体の界面での粘弾性変化を用いて、抗原抗体反応を定量できる可能性がある。液体試料の粘弾性を評価する手法として,複素反射率測定法が報告されている.液体試料の複素反射係数より,試料の複素音響インピーダンス,弾性定数,粘度等の横波音響特性が決定できる.この手法を用いた多くの先行研究が存在するが,300 MHzを超える周波数における報告は見当たらず,UHF帯の液体の粘弾性挙動は明らかではない.
本研究では,基板付き擬似すべりモード共振子TSM-HBAR(Thickness Shear Mode High overtone Bulk Acoustic Resonator)を用いて,複素反射率測定の原理に基づいたUHF帯における液体試料の粘弾性評価を行った.さらに,高感度化を目指して,台形柱型トランスデューサを用いてSH(Shear Horizontal)波を液体試料に対し斜めに入射したときの実験結果についても考察した.
台形柱型トランスデューサの時間応答波形をでは、圧電薄膜から発生した音波が経路 88.0 mmを通って応答波形として現れている.この経路長と石英ガラスの横波音速3768.9 m/sを考えると,応答波形が23.4 μs周期で観測されていることから,SH波の応答信号であることが分かる.また,第1回反射波SH1にゲート機能を適用し,フーリエ変換して得られる挿入損失の周波数特性では、およそ143 MHzで横波励振効率が最大となっていることを確認した.
斜入射による粘弾性評価の結果から、反射係数振幅 が単調に変化しているほか,80 wt.%以下の試料のずり弾性定数がある程度正当に評価できていると思われる.一方で,特に20 wt.%や40 wt.%の反射係数位相 の評価結果にばらつきが見られた.

Current Status of Research Progress
Current Status of Research Progress

1: Research has progressed more than it was originally planned.

Reason

今回傾斜配向ScAlN薄膜を台形状基体に作製することに成功し、十分な結晶配向性も得ることができた。さらに複素反射率を得ることもできたことから当初の計画以上に進展している。

Strategy for Future Research Activity

今後、計画どおりに、さらに傾斜配向ScAlNを反転多層成長させて、大面積の複素反射率測定を目指していく。

  • Research Products

    (57 results)

All 2020 2019

All Journal Article (11 results) (of which Int'l Joint Research: 8 results,  Peer Reviewed: 2 results) Presentation (46 results) (of which Int'l Joint Research: 18 results,  Invited: 7 results)

  • [Journal Article] Frequency-switchable polarity-inverted BAW resonators based on electric-field-induced piezoelectric PMN-PT/PZT epitaxial film stacks2019

    • Author(s)
      T. Shimidzu and T. Yanagitani
    • Journal Title

      J. Appl. Phys.

      Volume: vol. 126 Pages: pp. 114104

    • DOI

      10.1063/1.5092753

    • Peer Reviewed / Int'l Joint Research
  • [Journal Article] Frequency-switchable polarity-inverted BAW resonators based on PZT/PTO epitaxial films using difference in coercive field2019

    • Author(s)
      T. Shimidzu, T. Mori, and T. Yanagitani
    • Journal Title

      Appl. Phys. Lett.,

      Volume: vol. 114 Pages: pp. 212902

    • DOI

      10.1063/1.5089554

    • Peer Reviewed / Int'l Joint Research
  • [Journal Article] A method for extracting mechanical Q factor of the piezoelectric film without etching substrate2019

    • Author(s)
      S. Kinoshita and T. Yanagitani
    • Journal Title

      Proc. IEEE Ultrason. Symp.

      Volume: 1 Pages: pp. 229-300

    • DOI

      10.1109/ULTSYM.2019.8926088

    • Int'l Joint Research
  • [Journal Article] Shear mode polarity inverted ScAlN multilayer for application to BAW transformer in rectifying antenna2019

    • Author(s)
      S. Kinoshita and T. Yanagitani
    • Journal Title

      Proc. IEEE Ultrason. Symp.

      Volume: 1 Pages: pp. 1118-1119

    • DOI

      10.1109/ULTSYM.2019.8925674

    • Int'l Joint Research
  • [Journal Article] A method to estimate Kt2 of piezoelectric films from the change of lattice strain by XRD without removing substrate2019

    • Author(s)
      T. Soutome and T. Yanagitani
    • Journal Title

      Proc. IEEE Ultrason. Symp.

      Volume: 1 Pages: pp. 301-304

    • DOI

      10.1109/ULTSYM.2019.8925766

    • Int'l Joint Research
  • [Journal Article] Improvement of C-Axis parallel orientation of ZnO film on silica glass pipes with various diameters for SH-SAW pipe sensor2019

    • Author(s)
      T. Wakabayashi, S. Takayanagi, Y. Takamura, M. Matsukawa, and T. Yanagitani
    • Journal Title

      Proc. IEEE Ultrason. Symp.

      Volume: 1 Pages: pp. 671-674

    • DOI

      10.1109/ULTSYM.2019.8925796

    • Int'l Joint Research
  • [Journal Article] Effect of negative ions generation from sputtering target on crystalline orientation and Kt2 of ScAlN thin films2019

    • Author(s)
      R. Kihara and T. Yanagitani
    • Journal Title

      Proc. IEEE Ultrason. Symp.

      Volume: 1 Pages: pp. 1120-1123

    • DOI

      10.1109/ULTSYM.2019.8925983

    • Int'l Joint Research
  • [Journal Article] Ion beam induced A-Axis in-plane oriented C-Axis oriented AlN thin film growth for high-Q BAW resonator application2019

    • Author(s)
      C. Masamune and T. Yanagitani
    • Journal Title

      Proc. IEEE Ultrason. Symp.

      Volume: 1 Pages: pp. 1127-1128

    • DOI

      10.1109/ULTSYM.2019.8926047

    • Int'l Joint Research
  • [Journal Article] ScAlN圧電薄膜の高品質化に向けたScAl合金スパッタターゲットから発生する負イオンの抑制~電子ビーム溶融、アーク溶融、焼結ScAl合金ターゲットの比較~2019

    • Author(s)
      柳谷隆彦
    • Journal Title

      真空ジャーナル

      Volume: 2019年9月号 Pages: pp. 11-15

  • [Journal Article] 擬似すべりモードc軸傾斜配向ScAlN圧電薄膜を用いた複素反射率法による液体試料の粘弾性評価2019

    • Author(s)
      天野凌輔,山川愉生,柳谷隆彦
    • Journal Title

      電子情報通信学会技術研究報告

      Volume: vol. 119 Pages: pp. 19-23

  • [Journal Article] ZnO薄膜を用いた厚みすべりモード共振子の作製と液体負荷時の周波数特性2019

    • Author(s)
      宮田昌哉,高柳真司,松川真美,柳谷隆彦
    • Journal Title

      電子情報通信学会技術研究報告

      Volume: vol. 119 Pages: pp. 33-37

  • [Presentation] c 軸配向 ZnO 薄膜を用いた極性反転共振子の圧電トランス応用2020

    • Author(s)
      間島毅、柳谷隆彦
    • Organizer
      圧電材料・デバイスシンポジウム2020
  • [Presentation] 基板付き薄膜共振子の電磁結合信号もしくは音響信号を用いた変換損 kt2評価法の比較2020

    • Author(s)
      龍見亮汰、柳谷隆彦
    • Organizer
      圧電材料・デバイスシンポジウム2020
  • [Presentation] レクテナ用の昇圧回路応用を目指した積層型圧電トランスのモデル化と試作2020

    • Author(s)
      平澤直人、木下紗里那、柳谷隆彦
    • Organizer
      第67回応用物理学会春季学術講演会
  • [Presentation] PZT系エピタキシャル薄膜共振子の600 ?C以上の高温域における圧電特性2020

    • Author(s)
      松田友佳、柳谷隆彦
    • Organizer
      第67回応用物理学会春季学術講演会
  • [Presentation] イオンビームにより面内a軸方向を揃えたc軸配向AlN薄膜の成長2020

    • Author(s)
      正宗千明、柳谷隆彦
    • Organizer
      第67回応用物理学会春季学術講演会
  • [Presentation] 圧電トランス応用に向けたc軸配向極性反転ZnO薄膜共振子の作製2020

    • Author(s)
      間島毅、柳谷隆彦
    • Organizer
      第67回応用物理学会春季学術講演会
  • [Presentation] レクテナ昇圧素子に向けたSMR型傾斜反転ScAlN圧電薄膜トランス2020

    • Author(s)
      木下紗里那、柳谷隆彦
    • Organizer
      第67回応用物理学会春季学術講演会
    • Invited
  • [Presentation] イオンビーム成膜を用いた結晶配向制御と極性反転デバイス応用2019

    • Author(s)
      柳谷隆彦
    • Organizer
      弾性波素子技術第150委員会第156回委員会
  • [Presentation] 微弱電波による環境発電用の新しい昇圧素子2019

    • Author(s)
      柳谷隆彦
    • Organizer
      JST 新技術説明会
  • [Presentation] Sc 粒埋め込みスパッタターゲットによる成膜中負イオン照射抑制と ScAlN 薄膜結晶性向上2019

    • Author(s)
      白 寧蕊、柳谷隆彦
    • Organizer
      第48回EMシンポジウム
  • [Presentation] イオンビームアシストスパッタ法による a軸方向が揃った c 軸配向 AlN 薄膜の成長2019

    • Author(s)
      正宗千明、柳谷隆彦
    • Organizer
      第48回EMシンポジウム
  • [Presentation] 自立構造エピタキシャル PbTiO3薄片の共振特性と温度特性2019

    • Author(s)
      松田友佳、柳谷隆彦
    • Organizer
      第48回EMシンポジウム
  • [Presentation] レクテナ昇圧素子への応用を目指したc軸ジグザグ配向ScAlN圧電薄膜トランス2019

    • Author(s)
      柳谷隆彦
    • Organizer
      同志社大学 超音波応用科学研究センター7月例会
  • [Presentation] 擬似すべりモードc軸傾斜配向ScAlN圧電薄膜を用いた複素反射率法による液体試料の粘弾性評価2019

    • Author(s)
      天野凌輔、山川愉生、柳谷隆彦
    • Organizer
      電子情報通信学会超音波研究会
  • [Presentation] Enhancement of Electromechanical Coupling kt2 in Rare Earth Doped AlN Films for Bulk Acoustic Wave Filter Applications2019

    • Author(s)
      T. Yanagitani
    • Organizer
      ICoSEM2019
    • Int'l Joint Research / Invited
  • [Presentation] PZT Family Epitaxial Thick Film for Ultrasonic Transducer at Frequencies Below 100MHz2019

    • Author(s)
      Y. Mazda and T. Yanagitani
    • Organizer
      ICoSEM2019
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] ScAlN Free?standing 0.1 mm Piezoelectric Plates in the 30?50 MHz Resonance Frequency2019

    • Author(s)
      C. Masamune, R. Karasawa and T. Yanagitani
    • Organizer
      ICoSEM2019
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] グラフェン上巨大圧電性ScAlN薄膜の弾性波デバイス応用2019

    • Author(s)
      天野凌輔、柳谷隆彦
    • Organizer
      2019年 電気学会 電子・情報・システム部門大会
  • [Presentation] レクテナ昇圧素子を目指したジグザグ配向ScAlN圧電薄膜トランス2019

    • Author(s)
      木下紗里那、柳谷隆彦
    • Organizer
      2019年 電気学会 電子・情報・システム部門大会
  • [Presentation] 基板付き薄膜構造を用いた圧電薄膜の機械的品質Qm値の推定法2019

    • Author(s)
      木下紗里那、柳谷隆彦
    • Organizer
      2019年 電気学会 電子・情報・システム部門大会
  • [Presentation] スパッタ法によるScAlN厚膜を用いたVHF帯高効率超音波トランスデューサ2019

    • Author(s)
      佐藤裕友、柳谷隆彦
    • Organizer
      2019年 電気学会 電子・情報・システム部門大会
  • [Presentation] CVDグラフェン上のRFスパッタc軸配向ScAlN薄膜の圧電特性2019

    • Author(s)
      天野凌輔、柳谷隆彦
    • Organizer
      第80回応用物理学会秋季学術講演会
  • [Presentation] 自立構造エピタキシャル PbTiO3薄片の共振特性と温度特性2019

    • Author(s)
      松田友佳、柳谷隆彦
    • Organizer
      第80回応用物理学会秋季学術講演会
  • [Presentation] YbAlN圧電薄膜のUHF帯における電気機械結合係数kt2の増幅2019

    • Author(s)
      木原流唯、柳谷隆彦
    • Organizer
      第80回応用物理学会秋季学術講演会
  • [Presentation] レクテナ昇圧素子に向けた傾斜反転ScAlN圧電薄膜HBAR型トランス2019

    • Author(s)
      木下紗里那、柳谷隆彦
    • Organizer
      第80回応用物理学会秋季学術講演会
  • [Presentation] Estimation of the mechanical Q factor of the piezoelectric film without removing substrate2019

    • Author(s)
      S. Kinoshita and T. Yanagitani
    • Organizer
      International Workshop on Piezoelectric Materials and Applications in Actuators (IWPMA2019)
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] ScAlN thin film stack for BAW transformer in rectifying antenna2019

    • Author(s)
      S. Kinoshita and T. Yanagitani
    • Organizer
      International Workshop on Piezoelectric Materials and Applications in Actuators (IWPMA2019)
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] レクテナ昇圧回路への応用を目指したc軸ジグザグ傾斜ScAlN圧電薄膜トランス2019

    • Author(s)
      柳谷隆彦
    • Organizer
      弾性波素子技術第150委員会第158回委員会
  • [Presentation] ScAlN Polarization Inverted Resonators and Enhancement of Kt2 in New YbAlN Materials for BAW Devices2019

    • Author(s)
      T. Yanagitani
    • Organizer
      2019 IEEE International Ultrasonics
    • Int'l Joint Research / Invited
  • [Presentation] A Method for Extracting Mechanical Q Factor of the Piezoelectric Film without Etching Substrate2019

    • Author(s)
      S. Kinoshita and T. Yanagitani
    • Organizer
      2019 IEEE International Ultrasonics
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] Shear Mode Polarity Inverted ScAlN Multilayer for Application to BAW Transformer in Rectifying Antenna2019

    • Author(s)
      S. Kinoshita and T. Yanagitani
    • Organizer
      2019 IEEE International Ultrasonics
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] A Method to Estimate Kt2 of Piezoelectric Films from the Change of Lattice Strain by XRD without Removing Substrate2019

    • Author(s)
      T. Soutome and T. Yanagitani
    • Organizer
      2019 IEEE International Ultrasonics
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] Effect of Negative Ions Generation from Sputtering Target on Crystalline Orientation and Kt2 of ScAlN Thin Films2019

    • Author(s)
      R. Kihara and T. Yanagitani
    • Organizer
      2019 IEEE International Ultrasonics
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] Ion Beam Induced A-Axis In-Plane Oriented C-Axis Oriented AlN Thin Film Growth for High-Q BAW Resonator Application2019

    • Author(s)
      C. Masamune and T. Yanagitani
    • Organizer
      2019 IEEE International Ultrasonics
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] 5Gのスマートフォン向けフィルタ(BAW filter)の薄膜材料2019

    • Author(s)
      柳谷隆彦
    • Organizer
      粉体粉末冶金協会2019年度秋季大会
    • Invited
  • [Presentation] c軸配向ZnO薄膜成長におけるZn面またはO面極性制御および分極反転多層圧電デバイスへの応用2019

    • Author(s)
      間島毅、柳谷隆彦
    • Organizer
      粉体粉末冶金協会2019年度秋季大会
  • [Presentation] 巨大圧電性ScAlN厚膜の成長および粉体化による結晶構造解析2019

    • Author(s)
      白寧蕊、柳谷隆彦
    • Organizer
      粉体粉末冶金協会2019年度秋季大会
  • [Presentation] ウエハ付き状態の圧電薄膜のBAWフィルタ向け評価法およびScAlN薄膜成長のノウハウ2019

    • Author(s)
      柳谷隆彦
    • Organizer
      圧電MEMS研究会第20回研究会
    • Invited
  • [Presentation] Polarization inverted ScAlN films and new high kt2 YbAlN films for BAW device applications2019

    • Author(s)
      Y. Mazda and T. Yanagitani
    • Organizer
      The 13th Pacific Rim Conference of Ceramic Societies (PACRIM13)
    • Int'l Joint Research / Invited
  • [Presentation] Giant piezoelectricity and temperature characteristics of free-standing sputter-epitaxial PbTiO3 plates2019

    • Author(s)
      Y. Mazda and T. Yanagitani
    • Organizer
      The 13th Pacific Rim Conference of Ceramic Societies (PACRIM13)
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] Improvement of crystalline orientation and kt2 of ScAlN thin films by suppression of negative ions generation from sputtering target2019

    • Author(s)
      R. Kihara, S. Takayanagi and T. Yanagitani
    • Organizer
      The 13th Pacific Rim Conference of Ceramic Societies (PACRIM13)
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] Measurement of lattice strain change in ScAlN piezoelectric films by XRD for kt 2 estimation without removing substrate2019

    • Author(s)
      T. Sotome and T. Yanagitani
    • Organizer
      The 13th Pacific Rim Conference of Ceramic Societies (PACRIM13)
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] BAW type transformer with ScAlN multilayer for rectifying antenna2019

    • Author(s)
      S. Kinoshita and T. Yanagitani
    • Organizer
      The 13th Pacific Rim Conference of Ceramic Societies (PACRIM13)
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] 自立構造エピタキシャル PbTiO3薄片の高い電気機械結合係数と温度特性2019

    • Author(s)
      松田友佳、柳谷隆彦
    • Organizer
      The 40th Symposium on Ultrasonic Electronics (USE 2019)
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] イオンビームアシストスパッタ法による a 軸方向の揃った c 軸配向 ScAlN 薄膜の成長2019

    • Author(s)
      正宗千明、柳谷隆彦
    • Organizer
      The 40th Symposium on Ultrasonic Electronics (USE 2019)
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] 超高周波帯超音波映像装置用プローブの新しい分極反転圧電薄膜材料2019

    • Author(s)
      柳谷隆彦
    • Organizer
      超音波計測に関する萌芽技術研究会
    • Invited

URL: 

Published: 2021-01-27  

Information User Guide FAQ News Terms of Use Attribution of KAKENHI

Powered by NII kakenhi