2021 Fiscal Year Annual Research Report
Development of fabrication technique of ultra-fine metallic nanostructures by laser-induced photo-reduction applied with polarization
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19H02625
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| Research Institution | Shizuoka University |
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Principal Investigator |
小野 篤史 静岡大学, 電子工学研究所, 教授 (20435639)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
石飛 秀和 大阪大学, 生命機能研究科, 准教授 (20372633)
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| Project Period (FY) |
2019-04-01 – 2022-03-31
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| Keywords | レーザープロセシング / 光還元 |
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| Outline of Annual Research Achievements |
フェムト秒パルスレーザーを用いたレーザープロセシング技術は，非熱的，マスクレスという特徴から，近年加工分野においてレーザー溶接や切断加工等の工業応用だけでなく，微細リソグラフィ等の電子デバイス応用など，様々な分野に展開されている.本研究は，フェムト秒パルスレーザー照射による非線形励起過程に，光還元反応プロセスを利用した金属微細構造パターニング技術に関する研究である. レーザー集光照射内の微視領域における光還元反応に伴う金属析出過程の原理解明を目的とし，これまでに照射偏光および照射パターンの制御光学系を構築し，基材試料であるポリマーの光励起時の分子挙動モデルの構築，光励起状態の試料内の電子密度分布の解析に取り組んできた. さらに，円偏光1点照射により銀ナノリングが作製されることに対して，右周り円偏光，左周り円偏光がリング内径部の形成に反映されることを発見した．本年度は，材料の反応性の観点から，材料の混合手順や攪拌時の温度，環境光の有無に対する析出銀の形成について調べたことに加え，銀イオン濃度や成膜温度，膜厚に対する依存性についても詳細に調べた．これらの研究を通じて，適正な材料作製プロセスおよび光照射還元反応に適したイオン濃度等の特性を明らかにした．
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| Research Progress Status |
令和3年度が最終年度であるため、記入しない。
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| Strategy for Future Research Activity |
令和3年度が最終年度であるため、記入しない。
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