• Search Research Projects
  • Search Researchers
  • How to Use
  1. Back to project page

2021 Fiscal Year Annual Research Report

Development of thermal neutron imaging sensor using BGaN semiconductor detector

Research Project

Project/Area Number 19H04394
Research InstitutionShizuoka University

Principal Investigator

中野 貴之  静岡大学, 電子工学研究所, 准教授 (00435827)

Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) 青木 徹  静岡大学, 電子工学研究所, 教授 (10283350)
井上 翼  静岡大学, 工学部, 教授 (90324334)
本田 善央  名古屋大学, 未来材料・システム研究所, 准教授 (60362274)
小島 一信  大阪大学, 工学研究科, 教授 (30534250)
嶋 紘平  東北大学, 多元物質科学研究所, 助教 (40805173)
Project Period (FY) 2019-04-01 – 2022-03-31
Keywords中性子検出 / 半導体検出器 / イメージングセンサー / BGaN / III族窒化物半導体
Outline of Annual Research Achievements

中性子イメージングセンサーの実現に向けて、BGaN半導体検出器の試作および評価を実施した。
基盤技術となるBGaN結晶成長技術において、p型GaN上へのBGaN成長時にヘテロ界面に発生するボイドがデバイス性能に大きな影響を与えることが確認されたため、ボイド発生を抑制するための成長技術の検討を実施した。ヘテロ界面形成時においてボイドが発生する原因として成長初期におけるB原子の付着が影響していることが明らかとなったため、成長初期においてB原料濃度を抑制して徐々に高濃度化させる組成傾斜層の導入を行った。組成傾斜層の導入によりボイド形成の抑制および結晶性の向上が達成された。
本技術により作製されたBGaN結晶を用いて検出器の作製を実施し、電気特性評価を実施したところ結晶性向上によるリーク電流の低減および耐圧の向上が確認された。またα線を用いた放射線検出特性評価からノイズ領域の低減により、信号波形の全半値幅の改善が確認された。一方で、組成傾斜層により界面近傍でのB組成が減少することに由来する中性子捕獲率の減少も確認されたことから、組成傾斜層の膜厚に関する更なる検討が今後の課題であることが示唆された。
マルチアレイ検出に向けた取組として、結晶の有効面積の拡大および均一性の向上の取り組み、2inch成長プロセスを実現するに至った。面内均一性も良好であり、エッジ部以外での結晶性およびB組成の良好な面内均一性を達成した。均一なBGaN結晶を用いてマルチチャネルの検出器作製を実施し、信号検出実験を実施した3チャネルでのα線検出実験を行った結果、各チャネルにおいて同様のピーク位置および全半値幅のピーク検出を達成しており良好なマルチチャネル検出特性を得るに至った。
これらの結果から、本研究の目標であったBGaNイメージングセンサーに向けた基礎技術の構築を達成した。

Research Progress Status

令和3年度が最終年度であるため、記入しない。

Strategy for Future Research Activity

令和3年度が最終年度であるため、記入しない。

  • Research Products

    (9 results)

All 2022 2021 Other

All Journal Article (1 results) (of which Int'l Joint Research: 1 results,  Peer Reviewed: 1 results) Presentation (7 results) (of which Int'l Joint Research: 2 results,  Invited: 2 results) Remarks (1 results)

  • [Journal Article] Effective neutron detection using vertical-type BGaN diodes2021

    • Author(s)
      Nakano Takayuki、Mochizuki Ken、Arikawa Takuya、Nakagawa Hisaya、Usami Shigeyoshi、Honda Yoshio、Amano Hiroshi、Vogt Adrian、Sch?tt Sebastian、Fiederle Michael、Kojima Kazunobu、Chichibu Shigefusa F.、Inoue Yoku、Aoki Toru
    • Journal Title

      Journal of Applied Physics

      Volume: 130 Pages: 124501~124501

    • DOI

      10.1063/5.0051053

    • Peer Reviewed / Int'l Joint Research
  • [Presentation] 耐高温中性子半導体検出器に向けた新規BGaNデバイスの作製2022

    • Author(s)
      中村大輔、西川瞬、小関凌也、林幸佑、川崎晟也、權熊、若林源一郎、本田善央、天野浩、井上翼、青木徹、中野貴之
    • Organizer
      第69回応用物理学会春季学術講演会
  • [Presentation] III族窒化物半導体検出器の高温耐性評価2022

    • Author(s)
      林幸佑、中川央也、川崎晟也、出来真斗、本田善央、天野浩、井上翼、青木徹、中野貴之
    • Organizer
      第69回応用物理学会春季学術講演会
  • [Presentation] 傾斜組成 BGaN 層を用いた BGaN 放射線検出器の開発2022

    • Author(s)
      夏目朋幸、宮澤篤也、中村大輔、林幸佑、橋本優作、川崎晟也、權熊、若林源一郎、本田善央、天野浩、井上翼、青木徹、中野貴之
    • Organizer
      第69回応用物理学会春季学術講演会
  • [Presentation] Impact of growth pressure on the neutron-detection efficiency of BGaN diodes2021

    • Author(s)
      A. Miyazawa, Y. Ohta, S. Matsukawa, K. Hayashi, H. Nakagawa, S. Kawasaki, Y. Ando, G. Wakabayashi, Y. Honda, H. Amano, K. Shima, K. Kojima, S. F. Chichibu, Y. Inoue, T. Aoki, T. Nakano
    • Organizer
      2021 IEEE NUCLEAR SCIENCE SYMPOSIUM AND MEDICAL IMAGING CONFERENCE (2021 IEEE NSD MIC)
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] Proposal and Development of Novel Neutron Detector using Boron Gallium Nitride2021

    • Author(s)
      Takayuki Nakano, Toru Aoki
    • Organizer
      The 7th International Conference on Advancements in Nuclear Instrumentation Measurement Methods and their Applications (ANIMMA 2021)
    • Int'l Joint Research / Invited
  • [Presentation] Ⅲ族窒化物半導体を用いた中性子検出器の開発2021

    • Author(s)
      中野 貴之、青木 徹
    • Organizer
      第82回応用物理学会秋季学術講演会
    • Invited
  • [Presentation] BGaNダイオードの高温環境下における検出特性評価2021

    • Author(s)
      林 幸佑、中川 央也、宮澤 篤也、川崎 晟也、本田 善央、天野 浩、井上 翼、青木 徹、中野 貴之
    • Organizer
      第82回応用物理学会秋季学術講演会
  • [Remarks] 静岡大学工学部電子物質科学科 中野研究室HP

    • URL

      https://wwp.shizuoka.ac.jp/nakano/

URL: 

Published: 2022-12-28  

Information User Guide FAQ News Terms of Use Attribution of KAKENHI

Powered by NII kakenhi