ダイヤモンドライクカーボン膜の除膜メカニズムの解明と高速・大面積除膜技術の開発

2021 Fiscal Year Research-status Report

• Project/Area Number: 19K04349
• Research Institution: Kochi National College of Technology
• Principal Investigator: 谷本 壮 高知工業高等専門学校, ソーシャルデザイン工学科, 准教授 (60582765)
• Project Period (FY): 2019-04-01 – 2023-03-31
• Keywords: 酸素プラズマ / ダイヤモンドライクカーボン / 除膜

Outline of Annual Research Achievements

ダイヤモンドライクカーボン膜は，高硬度，耐摩耗性等の優れた特徴をもち，機械部品，自動車部品，工具や金型等の保護膜などに用いられている。保護膜に用いられているダイヤモンドライクカーボン膜は，使用頻度の増加や長期利用に伴い劣化する。このようにダイヤモンドライクカーボン膜の劣化，経年劣化品等からダイヤモンドライクカーボン膜のみを母材から取り除き，母材を再利用したいといった要望がある。本研究では，ダイヤモンドライクカーボン膜を取り除く方法として酸素プラズマに着目し，ダイヤモンドライクカーボン膜の除膜を試みる。そして，ダイヤモンドライクカーボン膜の除膜メカニズムの解明，除膜技術の開発を目指している。
本年度は，新しく立ち上げを行っている除膜装置を用い，酸素プラズマを生成し，酸素プラズマの発光の様子および発光スペクトルの計測を行った。酸素プラズマは，酸素ガスの流量および除膜装置内の真空度を変化させ，除膜装置内の酸素ガス量の調整を行い生成した。酸素ガスの流量を固定し，真空度を低くしていくことにより酸素プラズマの発光強度は強くなった。また，発光したプラズマの発光スペクトルの計測より，酸素プラズマによる発光を確認した。真空度を固定し流量を変化させた場合の発光の様子および発光スペクトルにおいて流量の違いによる影響は計測されなかった。今後，流量や真空度を再度評価し，プラズマの生成に最適な条件を検討する必要がある。

Current Status of Research Progress

4: Progress in research has been delayed.

Reason

コロナウィルス感染症の影響の他，研究外の用務量の増大などの研究環境の悪化に伴い，研究にさけるエフォートが大きく減少した。また，研究を進めるにあたり，計測に必要な物品等の購入について検討する必要があり再度選定等に時間を要している状況もあり遅れている。

Strategy for Future Research Activity

新しく立ち上げを行っている除膜装置を用い，酸素プラズマの評価およびダイヤモンドライクカーボン膜の除膜に取り組む。

Causes of Carryover

コロナウィルス感染症の影響の他，研究外の用務量の増大などの研究環境の悪化に伴い，研究にさける時間が十分確保できず，研究を進めるために必要な物品の選定を十分行うことができなかった。また，研究を進めるにあたり計測等に必要な物品がでてきたため，改めて物品の選定を行っていた。次年度、現在継続して行っている装置の立ち上げ・計測等に必要な物品の他，学会等の成果発表において適切に使用する予定である。