2020 Fiscal Year Research-status Report
二硫化モリブデンによる二次元単結晶半導体極薄膜ナノポアセンシング
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19K05233
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| Research Institution | Osaka University |
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Principal Investigator |
川合 健太郎 大阪大学, 工学研究科, 助教 (90514464)
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| Project Period (FY) |
2019-04-01 – 2022-03-31
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| Keywords | 二硫化モリブデン / ナノポア / 常圧CVD / イオンビーム加工 |
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| Outline of Annual Research Achievements |
本年度は、昨年度から引き続き実施していた常圧ＣＶＤによる二硫化モリブデン二次元結晶膜の気相成長について、ナノポアセンシングのための隔膜として利用可能な自立膜を直接成膜するプロセスを開発した。主な改善点としてはNaClを触媒として利用したこと、硫黄導入時の温度制御を行うこと、原料から適切な位置に基板を設置することである。
現状での自立膜は多層になりやすいことから、層数のコントロールや膜質の改良についてさらなるプロセス検討を引き続き進める。
次年度は、常圧ＣＶＤ法による二硫化モリブデン自立膜に対しヘリウムイオン顕微鏡を用いてナノポア加工を行ったデバイスを用い、ナノポアセンシングにおける特性の測定を行う。
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| Current Status of Research Progress |
Current Status of Research Progress
1: Research has progressed more than it was originally planned.
Reason
当初計画の目標通り、常圧ＣＶＤによる二硫化モリブデン二次元結晶膜の自立膜を直接成膜するプロセスを開発した。
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| Strategy for Future Research Activity |
二硫化モリブデンナノポアを用いたセンシングデバイスの構築に向け、グラフェンやシリコン酸化膜によるナノポアで実施したナノポア計測について、二硫化モリブデンナノポアで同様に実施する。検出の高感度化に向け、ナノポア形成の再現性や種々の条件下におけるナノポアを通過するイオン電流特性について知見を深める。
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| Causes of Carryover |
コロナ禍により学会等がオンライン中心になり、旅費予定額等で次年度使用額が生じた。次年度も学会がオンライン中心になることから、それに対応するための機器等を設置し情報発信と収集に支障がないようにする。
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