2020 Fiscal Year Research-status Report
EUV波面シンセサイザの開発と実時間・超深度ナノイメージングへの応用
| Project/Area Number |
19K05314
|
|---|
| Research Institution | Tokyo Polytechnic University |
|---|
Principal Investigator |
豊田 光紀 東京工芸大学, 工学部, 准教授 (40375168)
|
|---|
| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
原田 哲男 兵庫県立大学, 高度産業科学技術研究所, 准教授 (30451636)
|
|---|
| Project Period (FY) |
2019-04-01 – 2022-03-31
|
| Keywords | 多層膜ミラー |
|---|
| Outline of Annual Research Achievements |
大開口数（>0.2)を実現する極紫外線（EUV）多層膜ミラー結像系は、明るい高分解能像が得られる一方で焦点深度が浅く、ポリマーのリアルタイム破壊観察や3次元CTなど、深い合焦領域が必要な応用分野への適用は困難である。本研究では独自に開発した、多層膜ミラー波面の0.1nm精度制御技術を 基に波面を自在に変調する、EUV適用の「波面シンセサイザー」を開発する。さらに、これを波面コーディング法と組み合わせ、①分解能の劣化なく、②実時間で、③焦点深度を拡大する、新しい超深度EUVイメージング法を実現する。これにより、EUV顕微鏡を学会・産業界で広く活用される実用システムとして位置づけたい。
研究は「波面シンセサイザー」機能をもつ多層膜対物ミラーの開発、および、顕微鏡の構築と超深度イメージングの実証に大別される。以下に、今年度の研究内容を示す。
昨年度までに得た光学デザインに基づき、EUV多層膜対物ミラーを試作した。具体的には、超研磨した石英ガラス基板に対してMo/Si多層膜ミラーの成膜を行った。さらに、低次収差である、球面、コマおよび非点収差を変調できる、精密ミラーホルダの開発を行った。Mo/Si多層膜ミラーは、現有マグネトロンスパッタ装置および実験室反射率計を活用し成膜した。また、現有のミラーホルダのミラー変形機能を基に、波面シンセサイザの光学仕様を満たす新規品を東北大・多元研技術室と共同で開発した。
|
| Current Status of Research Progress |
Current Status of Research Progress
3: Progress in research has been slightly delayed.
Reason
コロナ禍の影響で、年度前半に実験室での研究開発活動が制限されたため。
|
| Strategy for Future Research Activity |
開発した対物ミラーの光軸調整を行い、焦点深度拡大の検証を含め、その結像特性を評価する。
|
| Causes of Carryover |
コロナ禍のため、研究の進行がやや遅れており、次年度に物品費を支出する必要が生じたため。
|
Research Products
(4 results)
