2021 Fiscal Year Annual Research Report
EUV波面シンセサイザの開発と実時間・超深度ナノイメージングへの応用
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19K05314
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| Research Institution | Tokyo Polytechnic University |
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Principal Investigator |
豊田 光紀 東京工芸大学, 工学部, 教授 (40375168)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
原田 哲男 兵庫県立大学, 高度産業科学技術研究所, 准教授 (30451636)
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| Project Period (FY) |
2019-04-01 – 2022-03-31
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| Keywords | 多層膜ミラー / 極紫外 |
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| Outline of Annual Research Achievements |
大開口数（>0.2)を実現する極紫外線（EUV）多層膜ミラー結像系は、明るい高分解能像が得られる一方で焦点深度が浅く、ポリマーのリアルタイム破壊観察や3次元CTなど、深い合焦領域が必要な応用分野への適用は困難である。本研究では独自に開発した、多層膜ミラー波面の0.1nm精度制御技術を 基に波面を自在に変調する、EUV適用の「波面シンセサイザー」を開発する。さらに、これを波面コーディング法と組み合わせ、①分解能の劣化なく、②実時間で、③焦点深度を拡大する、新しい超深度EUVイメージング法を実現する。これにより、EUV顕微鏡を学会・産業界で広く活用される実用システムとして位置づけたい。
昨年度までに、2段拡大構成によるEUV多層膜対物ミラーを試作した。対物ミラーは、球面、コマおよび非点収差を変調する精密ミラーホルダを包含する。今年度は、対物ミラーを独自に開発した点回折干渉計上に設置し、超深度EUVイメージングの実現に必要なこれらの低次収差項の変調実験を行った。点回折干渉計は、検査光および参照光が、対物ミラーをほぼコモンパスに通過する構成とし、波面収差をサブnmの計測精度で計測できる。精密ミラーホルダ上に設置した凹面ミラーをピエゾモーターにより僅かに偏心させることで、波面コーディング法に求められる偏心コマ収差を1nm精度で発生・制御できることを実証することができた。今後は、開発した対物ミラーをEUV顕微鏡システムに組み込み、透過像観察による結像実験を行い予定である。
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Research Products
(8 results)
