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2021 Fiscal Year Annual Research Report

EUV波面シンセサイザの開発と実時間・超深度ナノイメージングへの応用

Research Project

Project/Area Number 19K05314
Research InstitutionTokyo Polytechnic University

Principal Investigator

豊田 光紀  東京工芸大学, 工学部, 教授 (40375168)

Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) 原田 哲男  兵庫県立大学, 高度産業科学技術研究所, 准教授 (30451636)
Project Period (FY) 2019-04-01 – 2022-03-31
Keywords多層膜ミラー / 極紫外
Outline of Annual Research Achievements

大開口数(>0.2)を実現する極紫外線(EUV)多層膜ミラー結像系は、明るい高分解能像が得られる一方で焦点深度が浅く、ポリマーのリアルタイム破壊観察や3次元CTなど、深い合焦領域が必要な応用分野への適用は困難である。本研究では独自に開発した、多層膜ミラー波面の0.1nm精度制御技術を 基に波面を自在に変調する、EUV適用の「波面シンセサイザー」を開発する。さらに、これを波面コーディング法と組み合わせ、①分解能の劣化なく、②実時間で、③焦点深度を拡大する、新しい超深度EUVイメージング法を実現する。これにより、EUV顕微鏡を学会・産業界で広く活用される実用システムとして位置づけたい。
昨年度までに、2段拡大構成によるEUV多層膜対物ミラーを試作した。対物ミラーは、球面、コマおよび非点収差を変調する精密ミラーホルダを包含する。今年度は、対物ミラーを独自に開発した点回折干渉計上に設置し、超深度EUVイメージングの実現に必要なこれらの低次収差項の変調実験を行った。点回折干渉計は、検査光および参照光が、対物ミラーをほぼコモンパスに通過する構成とし、波面収差をサブnmの計測精度で計測できる。精密ミラーホルダ上に設置した凹面ミラーをピエゾモーターにより僅かに偏心させることで、波面コーディング法に求められる偏心コマ収差を1nm精度で発生・制御できることを実証することができた。今後は、開発した対物ミラーをEUV顕微鏡システムに組み込み、透過像観察による結像実験を行い予定である。

  • Research Products

    (8 results)

All 2022 2021 Other

All Int'l Joint Research (1 results) Journal Article (3 results) (of which Peer Reviewed: 3 results) Presentation (4 results)

  • [Int'l Joint Research] Institut d'Optique(フランス)

    • Country Name
      FRANCE
    • Counterpart Institution
      Institut d'Optique
  • [Journal Article] Conservation of energy between pupil and image for point spread function2022

    • Author(s)
      Shibuya Masato、Tanabe Takao、Toyoda Mitsunori
    • Journal Title

      Optik

      Volume: 249 Pages: 168189~168189

    • DOI

      10.1016/j.ijleo.2021.168189

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Removal of Mo/Si multilayer coatings on fused silica substrates by wet chemical etching2021

    • Author(s)
      Toyoda Mitsunori、Yokoyama Ryo、Waki Shuntaro、Kakudate Toshiyuki、Chen Jun
    • Journal Title

      Applied Physics Express

      Volume: 14 Pages: 052003~052003

    • DOI

      10.35848/1882-0786/abf666

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Development of a high-power EUV irradiation tool in a hydrogen atmosphere2021

    • Author(s)
      Harada Tetsuo、Yamakawa Shinji、Toyoda Mitsunori、Watanabe Takeo
    • Journal Title

      Japanese Journal of Applied Physics

      Volume: 60 Pages: 087005~087005

    • DOI

      10.35848/1347-4065/ac15ef

    • Peer Reviewed
  • [Presentation] 実験室EUV顕微鏡照明光学系の高照度化(2)2022

    • Author(s)
      脇 俊太郎、津久井 雄祐、陳 軍、豊田 光紀
    • Organizer
      応用物理学会春季学術講演会
  • [Presentation] EUV顕微対物ミラーの高精度波面計測法の開発(2)2022

    • Author(s)
      津久井 雄祐、脇 俊太郎、陳 軍、豊田 光紀
    • Organizer
      応用物理学会春季学術講演会
  • [Presentation] EUV顕微対物ミラーの高精度波面計測法の開発2021

    • Author(s)
      津久井 雄祐、脇 俊太郎、陳 軍、豊田 光紀
    • Organizer
      応用物理学会秋季学術講演会
  • [Presentation] EUV顕微鏡照明光学系の高照度化2021

    • Author(s)
      脇 俊太郎、津久井 雄祐、陳 軍、豊田 光紀
    • Organizer
      応用物理学会秋季学術講演会

URL: 

Published: 2022-12-28  

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