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2020 Fiscal Year Research-status Report

微量バイオマーカーガスの選択的検出に向けた異方性酸化物ナノ粒子の創製

Research Project

Project/Area Number 19K15659
Research InstitutionKyushu University

Principal Investigator

末松 昂一  九州大学, 総合理工学研究院, 助教 (90637555)

Project Period (FY) 2019-04-01 – 2022-03-31
Keywordsガス吸着 / ナノロッド / 露出結晶面
Outline of Annual Research Achievements

半導体ガスセンサの材料設計指針として酸化物粒子の露出結晶面に着眼し、バイオマーカーガスであるVOCガス(エタノール、アセトン、etc)の選択的検出を試みた。具体的には、(110)面を多く露出したSnO2ナノロッド、粒子間細孔径が同程度であり配向性の低いSnO2粗大粒子、さらに粒子間細孔が小さいSnO2ナノ粒子を水熱合成法により合成、電気抵抗値やセンサ感度に及ぼす露出結晶面の効果について検証した。
まず、電気抵抗値への効果について検証したところ、SnO2ナノロッドは粗大粒子やナノ粒子に比べて電気抵抗値が低かった。これは、ロッド形状により、粒子間界面が少ないことに加えて、表面エネルギーの低い(110)面には酸素の負電荷吸着が進まないためと考えられる。従って(110)面のコンタクトでは、粒子表面の電気抵抗値が低く、その結果とした素子全体の電気抵抗値が低い値を示したと考えられる。
センサ応答特性評価として、VOCガスの1つであるエタノールに対するセンサ感度を評価した結果、150oC以下において、エタノール感度に及ぼす露出結晶面の効果が確認された。またエタノール分子は170oC以下でSnO2粒子表面に吸着することが実験的に確認されており、その吸着エネルギーは(110)面で大きくなることがDFT計算より確認された。このことから、150oC以下の温度域では、(110)面の露出によるガス吸着が、高感度化をもたらした明らかにした。そこでSnO2ナノロッドによるアセトン選択性を評価した結果、SnO2ナノロッドはガス吸着機能を強く反映する低作動温度(100oC)で、高いアセトン選択性を示した。これは露出結晶面によるガス分子の吸着特性の違いを利用したものであると考えられる。

Current Status of Research Progress
Current Status of Research Progress

2: Research has progressed on the whole more than it was originally planned.

Reason

配向性の高いSnO2ナノロッドのガス吸着能を利用することで、VOCガスに対する高いセンサ感度やアセトン選択性を示した。露出結晶面によるガス吸着エネルギーの違いはDFT計算により確認できており、今後、実験的検証と併せて進める計画である。

Strategy for Future Research Activity

今後の基本的な方針として、露出結晶面によるガス吸着特性の違いを利用し、ガス選択性の高いガスセンサを実現する計画である。具体的には、ワンチップでガス濃縮・検出が可能なパルス駆動型ガスセンサによるガス検出を検討している。さらに露出結晶面によるガス吸着エネルギーの計算や実験的なガス吸着能の差異を検討予定である。
これらの成果を基に、VOCガスを選択的に検出可能な高性能半導体ガスセンサを開発するとともに、その材料設計指針を構築する計画である。

  • Research Products

    (7 results)

All 2021 2020

All Journal Article (3 results) (of which Peer Reviewed: 3 results) Presentation (4 results) (of which Int'l Joint Research: 3 results)

  • [Journal Article] One-Trillionth Level Toluene Detection Using Dual-Designed Semiconductor Gas Sensor: Materials and Sensor Driven Designs2020

    • Author(s)
      Koichi Suematsu, Wataru Harano, Shigeto Yamasaki, Ken Watanabe, Kengo Shimanoe
    • Journal Title

      ACS Applied Electronic Materials

      Volume: 2 Pages: 4122-4126

    • DOI

      10.1021/acsaelm.0c00902

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Double-Step Modulation of Pulse-Driven Mode for High Performance SnO2 Micro Gas Sensor: Designing the Particles Surface via Rapid Preheating Process2020

    • Author(s)
      Koichi Suematsu, Yuki Hiroyama, Wataru Harano, Wataru Mizukami, Ken Watanabe, Kengo Shimanoe
    • Journal Title

      ACS Sensors

      Volume: 5 Pages: 3449-3456

    • DOI

      10.1021/acssensors.0c01365

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Selective Detection of Toluene Using Pulse-Driven SnO2 Micro Gas Sensors2020

    • Author(s)
      Koichi Suematsu, Tokiharu Oyama, Wataru Mizukami, Yuki Hiroyama, Ken Watanabe, Kengo Shimanoe
    • Journal Title

      ACS Applied Electronic Materials

      Volume: 2 Pages: 2913-2920

    • DOI

      10.1021/acsaelm.0c00547

    • Peer Reviewed
  • [Presentation] 異方性SnO2の焼成温度がガス応答に及ぼす影響2021

    • Author(s)
      梅 ウンテイ、末松 昂一、渡邉 賢、島ノ江 憲剛
    • Organizer
      電気化学会 第88回大会
  • [Presentation] Ultra-High-Sensitive Detection Using Pulse-Heating of MEMS-Type Oxide Semiconductor Gas Sensor:(1) Detection of Ethanol in Ppb Level By Introducing Oxygen Supplier2020

    • Author(s)
      Kengo Shimanoe, Koichi Suematsu, Ken Watanabe
    • Organizer
      237th ECS Meething with the 18th International Meeting on Chemical Sensors (IMCS 2020)
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] Ultra-High-Sensitive Detection Using Pulse-Heating of MEMS-Type Oxide Semiconductor Gas Sensor:(2) Detection of Ethanol in Ppb Level By Introducing Oxygen Supplier2020

    • Author(s)
      Kengo Shimanoe, Yuki Hiroyama, Koichi Suematsu, Ken Watanabe
    • Organizer
      237th ECS Meething with the 18th International Meeting on Chemical Sensors (IMCS 2020)
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] Design of Ultra-High-Sensitive Gas Sensors By Combination of Metal Oxides Semiconductor and MEMS2020

    • Author(s)
      Kengo Shimanoe, Koichi Suematsu, Ken Watanabe
    • Organizer
      PRiME 2020
    • Int'l Joint Research

URL: 

Published: 2021-12-27  

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