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2019 Fiscal Year Research-status Report

Development of non-reciprocal nanophotonic devices using ferromagnetic nanogranular films

Research Project

Project/Area Number 19K21959
Research InstitutionThe University of Tokyo

Principal Investigator

岩本 敏  東京大学, 先端科学技術研究センター, 教授 (40359667)

Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) 小林 伸聖  公益財団法人電磁材料研究所, その他部局等, 研究員(移行) (70205475)
Project Period (FY) 2019-06-28 – 2022-03-31
Keywords磁気光学効果 / ナノグラニュラー膜 / 非相反性 / ナノフォトニクス
Outline of Annual Research Achievements

セラミックと微細な磁性グラニュールから成るナノグラニュラー膜は、光通信波長帯において巨大なファラデー効果を示す。本研究では、セラミックスの種類を選択することによって、大きな光透過性と大きなファラデー効果、すなわち、性能指数の優れた膜の開発を目指すとともに、その非相反ナノフォトニクスへの応用を目指す。
本年度は、まず高い光透過性が期待できるフッ化物系について検討した。その結果、BaF2を用いたFeCoナノグラニュラー膜において、これまで検討してきたAlF3と比較して高い性能指数が得られることがわかった。FeCo-BaF膜の性能指数の向上は、膜中においてAlF3はアモルファス状態であるのに対し、BaF2は結晶構造を有することから、結晶性に由来すると考えられる。
また、ナノフォトニクスに利用するためには、フッ化物よりも高い屈折率を有するセラミック母材を望まれることを踏まえ、窒化物を母材としたナノグラニュラー膜の作製と磁気光学効果の観測に成功した。さらに、その光導波路デバイスへの応用に向けて、窒化物系導波路の設計を行った。今後の導波損失評価用のリブ型、リッジ型導波路に加えて、シリコン細線導波路に設けたスロット部分に窒化物を堆積した導波路構造も検討した。この構造では、窒化物部分の電界強度が増強され、窒化物ナノグラニュラー膜と導波モードの相互作用を増強できる可能性があることがわかった。また、非相反導波路として機能する導波路構造についても基礎的検討をすすめ、TEモードに対して機能すると期待できる構造を見出した。

Current Status of Research Progress
Current Status of Research Progress

2: Research has progressed on the whole more than it was originally planned.

Reason

ナノグラニュラー膜において、新たにFeCo-BaF膜において性能指数が向上することを明らかにすることができた。この結果は、膜中のセラミックスの構造を最適化により、更なる特性改善の可能性を示す重要な成果である。また窒化物ナノグラニュラー膜の実現に成功するとともに、そのナノフォトニクス応用のための導波路構造に関する基本的設計が得られた。

Strategy for Future Research Activity

本年度に得られた結果を基に、ナノグラニュラー膜の組成および作製条件、熱処理条件などと、薄膜試料の構造および諸特性の関係を整理し、さらに高い磁気光学特性、性能指数を有するナノグラニュラー膜合成のための方針の確立を目指す。その知見を窒化物や酸化物にも拡大し、ナノフォトニクス応用に向けた高品質ナノグラニュラー膜の実現を目指す。
また、電磁界計算を用いたデバイス設計と非相反デバイスとしての特性解析、デバイス作製プロセス開発などを進め、ナノグラニュラー膜を用いた非相反ナノフォトニクスデバイスの実現を目指す。

Causes of Carryover

デバイス応用の可能性をまず明らかにすることが重要であったために、プロセス技術の開発の開始時期を変更し、導波路の基本設計などを重点的に進めた。そのため、実験用消耗品などの使用量が当初見込みより減少した結果、次年度使用額が発生した。次年度使用額については翌年度請求分とあわせて、プロセスおよび光学実験に関わる消耗品およびプロセスに必要となるクリーンルーム設備の使用料などに使用する予定である。

  • Research Products

    (13 results)

All 2020 2019

All Journal Article (2 results) Presentation (11 results) (of which Int'l Joint Research: 2 results,  Invited: 1 results)

  • [Journal Article] 金属-セラミックスナノグラニュラー薄膜の磁気-誘電効果2019

    • Author(s)
      小林伸聖
    • Journal Title

      日本磁気学会第224回研究会資料

      Volume: 224-3 Pages: 13-18

  • [Journal Article] 窒化物をマトリックスとしたナノグラニュラー薄膜の磁気光学効果2019

    • Author(s)
      池田賢司, 小林伸聖, 荒井賢一
    • Journal Title

      電気学会マグネティックス研究会資料

      Volume: MAG-19-090 Pages: 63-68

  • [Presentation] Fabrication of Monocrystalline Magneto-optical Garnet Thin Film on Insulator Substrates as a Basis for Exploring Magneto-nanophotonics2020

    • Author(s)
      S. Gao, Y. Ota, F. Tian, Y. Arakawa, and S. Iwamoto
    • Organizer
      第67回応用物理学会春季学術講演会
  • [Presentation] Reactive magnetron co-sputtering deposition of CoF2-C granular films2020

    • Author(s)
      曹洋, 小林伸聖, 大沼繁弘, 増本博
    • Organizer
      日本金属学会2020年春季講演会
  • [Presentation] Co-酸化物系ナノコンポジット薄膜の構造とトンネル磁気-誘電効果2020

    • Author(s)
      木村萌,曹洋,青木英恵,大沼繁弘,小林伸聖,増本博
    • Organizer
      日本セラミックス協会2020 年年会
  • [Presentation] 金属-セラミックスナノグラニュラー膜の磁気・誘電・光機能性2020

    • Author(s)
      小林伸聖
    • Organizer
      令和2年電気学会全国大会・シンポジウム
    • Invited
  • [Presentation] Toward magneto-nanophotonics based on thin-film yttrium iron garnet: wafer bonding and grinding for substrate preparation2019

    • Author(s)
      Siyuan Gao, Yasutomo Ota, Feng Tian, Yasuhiko Arakawa, and Satoshi Iwamoto
    • Organizer
      第4回JSAPフォトニクスワークショップ
  • [Presentation] 窒化物をマトリックスとしたナノグラニュラー薄膜の磁気光学効果2019

    • Author(s)
      池田賢司、小林伸聖、荒井賢一
    • Organizer
      電気学会マグネティックス研究会
  • [Presentation] FeCo-BaFナノグラニュラー膜の構造と巨大ファラデー効果2019

    • Author(s)
      小林伸聖、池田賢司、岩佐忠義、荒井賢一
    • Organizer
      第43回磁気学会学術講演会
  • [Presentation] SiNマトリックスナノグラニュラー薄膜の磁気光学効果2019

    • Author(s)
      池田賢司、小林伸聖、荒井賢一
    • Organizer
      第43回磁気学会学術講演会
  • [Presentation] Improvement of tunneling magnetodielectric effect for Co-Al2O3 nano-composite films by optimization of preparation conditions2019

    • Author(s)
      M. Kimura,Y. Cao,H. Aoki,N Kobayashi,S. Ohnuma,H. Masumoto
    • Organizer
      The 13th Pacific Rim Conference of Ceramic Societies
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] Structure and Magneto-dielectric Properties in Co-F-C Nanocomposites2019

    • Author(s)
      Y. Cao,N. Kobayashi,S. Ohnuma,H. Masumoto
    • Organizer
      The 13th Pacific Rim Conference of Ceramic Societies
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] 差動圧力スパッタ法により作製したCo-SrTiO3系ナノ複相薄膜におけるトンネル磁気-誘電効果の発現2019

    • Author(s)
      木村萌,曹洋,青木英恵,小林伸聖,大沼繁弘,増本博
    • Organizer
      日本セラミックス協会東北北海道支部大会

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Published: 2022-12-28  

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