2009 Fiscal Year Annual Research Report
酸化亜鉛系混晶自立ウエファーの素子応用に向けた基礎研究
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20246007
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| Research Institution | National Institute for Materials Science |
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Principal Investigator |
大橋 直樹 National Institute for Materials Science, 光材料センター, センター長 (60251617)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
坂口 勲 独立行政法人物質・材料研究機構, 光材料センター, 主幹研究員 (20343866)
和田 芳樹 独立行政法人物質・材料研究機構, 光材料センター, 主幹研究員 (90343847)
羽田 肇 独立行政法人物質・材料研究機構, センサ材料センター, センター長 (70354420)
安達 裕 独立行政法人物質・材料研究機構, 光材料センター, 主任研究員 (30354418)
石垣 隆正 法政大学, 理工学部, 教授 (40343842)
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| Keywords | 酸化亜鉛 / 半導体ウエファー / 欠陥構造 / 表面構造 |
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| Research Abstract |
酸化亜鉛・酸化マグネシウム系の混晶結晶について、その実用化を見据え、熱安定性の検討、デバイス用ウエファーとしての重要な機能である表面状態について、昨年度に導入した研磨装置を用い、その研磨プロセスの最適化を検討すると共に、電子状態や、電気機械結合特性に関する検討を進めた。
ウエファーに関しては、アルミニウムなどを添加した導電性制御に着目した検討を行った結果、液相エピタキシーで成長した結晶で、10^<19>cm^<-3>までのドーピングが可能であり、また、液相エピタキシーの手段で得られるドーパント濃度は、平衡論に支配される固溶限界によって支配されることを明らかにした。また、昨年度導入した研磨装置を利用した研磨条件の検討を行い、原子レベル平坦な表面を得るためのプロセスの最適化を実施した。
また、ウエファーの機械的性質は工業的応用、あるいは、圧電センサとしての応用の上で重要であることから、混晶バルク結晶の絶縁体化を検討し、絶縁性の結晶を得ると共に、その電気機械結合係数の測定を行い、その圧電特性の検討を行った。
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[Presentation] 酸化亜鉛透明導電体中の欠陥構造2010
Author(s)
LI Baoe, 李建永, 安達裕, 坂口勲, 大串秀世, 上田茂典, 吉川英樹, 松本研司, 小林啓介, 羽田肇, 大橋直樹
Organizer
日本セラミックス協会2010年年会
Place of Presentation
東京農工大学、小金井市
Year and Date
2010-03-23
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