2008 Fiscal Year Annual Research Report
金属・半導体クラスターの複合・集積過程の解明とナノ構造制御の最適化
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20246110
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| Research Institution | Nagoya Institute of Technology |
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Principal Investigator |
隅山 兼治 Nagoya Institute of Technology, 工学研究科, 教授 (70101243)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
日原 岳彦 名古屋工業大学, 工学研究科, 准教授 (60324480)
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| Keywords | ナノプロセス / ナノ粒子複合化 / ナノ粒子高密度化 / ナノ尺度計測 / ナノ粒子界面制 |
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| Research Abstract |
申請者等はナノサイズの金属クラスターからの物質創製を目指し研究を行ってきた。本計画においては、これまで未解決であった(a)クラスターの接触・接合状態の様相、(b)コアシェル構造形成と物性の相関性、(c)強制堆積による組織・密度制御と構造、特性の変化を統一的に理解するとともに、高機能複合材料を創製するための基盤を確立する。初年度は、上記の内で課題(a)を中心に研究するとともに、次年度以降の研究展開に向けた準備を行った。
1)異種クラスター同時堆積:単体金属クラスター堆積過程の電気抵抗のその場測定、透過電子顕微鏡観察をベースに、金属(Fe)と半導体(Si)クラスターを同時堆積させ、異種クラスター複合状態の組織、多段階パーコレーションの特徴を明らかにした。
2)透過電子顕微鏡の整備:冷却機能、ピクセルの劣化により、像が不鮮明になる症状が発生していたスロースキャンCCDカメラを更新し、隣接するクラスター界面の格子像やマイクロ電子回折を高効率で観測できるようにした。
3)パルスマイクロプラズマクラスター源(PMCS)の導入:既存のプラズマガス凝縮クラスター源の改良を行うとともに、PMCS(イタリアのミラノ大学で開発)を購入し、気相法によりクラスターを高効率合成するための条件を調べた。
同時に、合金クラスターの高密度集積による高機能軟磁性材料開発に向けた合金組成や表面酸化制御、金属クラスターの表面酸化や異種クラスター衝突時期制御によるコアシェル組織形成の様相の観察、異種クラスターを同時堆積させたときの界面状態について電子顕微鏡観察を中心に研究した。
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