2009 Fiscal Year Annual Research Report
電子線励起による微小光源を利用した実時間観察可能な近接場光学顕微鏡の開発
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20360030
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| Research Institution | Shizuoka University |
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Principal Investigator |
川田 善正 Shizuoka University, 工学部, 教授 (70221900)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
金子 透 静岡大学, 工学部, 教授 (50293600)
江上 力 静岡大学, 工学部, 教授 (70262798)
宮川 厚夫 静岡大学, 工学部, 学術研究員 (10283376)
居波 渉 静岡大学, 若手グローバル研究リーダー育成拠点, 特任助教 (30542815)
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| Keywords | 光計測 / 近接場光学 / 電子顕微鏡 / 光電変換 / バイオテクノロジー |
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| Research Abstract |
本研究では、光を用いて生物試料などを実時間で観察でき、ナノメートルオーダーの空間分解能を有する実時間・ナノイメージング法を開発することを目的とし、実際にシステムを試作し、生きた生物試料を高分解能に観察するための技術開発および理論構築を行なうことを目的として研究を進めてきた。開発を進めている顕微鏡は、申請代表者らがこれまで進めてきた近接場光学技術を用いた高分解能イメージング手法に、走査型電子顕微鏡によって微小点光源の創成技術を組み合わせることによって、実時間および高分解能を実現するものである。今年度は、電子線で励起可能な蛍光薄膜の最適化を行なった。まず、蛍光薄膜としてZnOについて検討した。SiN膜上でのスパッタによる製膜条件を明らかにし、ZnOを50～500nmの範囲で制御した。作製したZnOを膜をアニーリングすることにより、電子線で励起した場合に蛍光強度が大きく増強することを示した。また、有機材料を利用した蛍光薄膜材料として、電子線検出のためのシンチレーターに利用される材料を検討した。BC498材料を用いて製膜し、電子線で励起したところ、ZnOに比べて数十倍明るく励起されることを確認した。BC498材料の最適な製膜条件を求め、厚さ100nm以下で製膜することに成功した。
ナノイメージング法の基礎システムを市販の走査型電子顕微鏡(SEM)を用いて試作した。SEMの試料台部分に光電子増倍管、高開口数レンズなどを組み込み、電子線で励起した蛍光を検出可能なシステムを作製した。
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