• Search Research Projects
  • Search Researchers
  • How to Use
  1. Back to project page

2011 Fiscal Year Annual Research Report

MEMS技術を用いた複合ナノ熱分析システムの開発

Research Project

Project/Area Number 20360103
Research InstitutionMeiji University

Principal Investigator

中別府 修  明治大学, 理工学部, 教授 (50227873)

KeywordsMEMS / ナノカロリメトリ / 熱分析 / 共振質量計測 / マイクロマニピュレーション / SEM
Research Abstract

本研究は,MEMS技術で作成される微小カロリメータを電子顕微鏡(SEM)やエネルギー分散型X線分析装置(EDXS)と複合化し,微小試料に対する超高速,高感度熱・質量分析を行う格段に分析能力の優れた複合ナノ熱分析システムの開発を目的としている.このため,研究実施計画として,カンチレバー型微小カロリメータの共振を利用した極微量質量計測技術,SEMと微小カロリメータを組み合せたナノ熱分析の複合化,微小試料を取り扱うサンプルマニピュレーション技術研究を計画た。結果として,260~800ミクロン長さの微小なカンチレバー型のカロリメータをMEMS技術で製作し,マイクログラム~ナノグラム試料を金属,無機試料を対象とした熱分析,質量分析に関し以下の成果を得た。
微量質量計測技術に関しては,振動を光学的に検出し共振振動数を計測する方法に加え,歪ゲージを内蔵したカンチレバー型カロリメータを開発し,計測システムの簡素化を実現し,室温から800℃にわたる広い温度範囲で熱・質量計測が可能なことが示された。
SEMにカンチレバー型カロリメータを内蔵した複合分析器では,微小な形状変化を観察しながら吸発熱が計測できる可視化熱分析を示すことができた。
微小な試料をマニピュレートする方法としては,ニードル型プローブ表面の水分量を熱的に制御することで,付着力を1~10マイクロニュートンレベルで変化させられることが示され,微小試料の付着型マニピュレーションに期待がもてることが示された。

  • Research Products

    (10 results)

All 2012 2011

All Journal Article (1 results) (of which Peer Reviewed: 1 results) Presentation (9 results)

  • [Journal Article] Nanocalorimeter for DTA and Mass Measurement in High Temperature Range2012

    • Author(s)
      Junichi ISHII, Osamu NAKABEPPU
    • Journal Title

      Netsu Sokutei

      Pages: 14-19

    • Peer Reviewed
  • [Presentation] Micro-Thermal Analysis with Cantilever Type MEMS Calorimeter (Experiment of High Temperature Thermal Analysis)2012

    • Author(s)
      Junichi ISHII, Hiroki HAYAKAWA, Osamu NAKABEPPU
    • Organizer
      The 8th KSME-JSME Thermal and Fluids Engineering Conference (TFEC8)
    • Place of Presentation
      Incheon, KOREA
    • Year and Date
      2012-03-18
  • [Presentation] MEMSカロリメータの開発2011

    • Author(s)
      中別府修
    • Organizer
      第32回日本熱物性シンポジウム
    • Place of Presentation
      横浜
    • Year and Date
      2011-11-22
  • [Presentation] カンチレバー型MEMSカロリメータによる微小熱分析法の研究2011

    • Author(s)
      早川裕樹, 石井淳市, 中別府修
    • Organizer
      第32回日本熱物性シンポジウム
    • Place of Presentation
      横浜
    • Year and Date
      2011-11-22
  • [Presentation] カンチレバー型MEMSカロリメータを用いた微小熱分析法の開発2011

    • Author(s)
      早川裕樹, 石井淳市, 中別府修
    • Organizer
      第47回熱測定討論会
    • Place of Presentation
      桐生
    • Year and Date
      2011-10-22
  • [Presentation] 高温熱分析用MEMSカロリメータによる熱分析・質量計測の研究2011

    • Author(s)
      石井淳市, 早川裕樹, 中別府修
    • Organizer
      第47回熱測定討論会
    • Place of Presentation
      桐生
    • Year and Date
      2011-10-22
  • [Presentation] 毛管作用による付着力変化を利用したマイクロマニピュレータの研究2011

    • Author(s)
      田中祐生, 加藤達彦, 新谷昌之, 中別府修
    • Organizer
      第3回マイクロ・ナノ工学シンポジウム
    • Place of Presentation
      船堀
    • Year and Date
      2011-09-26
  • [Presentation] High Temperature Thermal Analysis and Mass Measurement with Heat-Resistant MEMS Calorimeter2011

    • Author(s)
      Junichi ISHII, Osamu NAKABEPPU
    • Organizer
      6^<th> International & 8^<th> Japan-China Joint Symposium on Calorimetry and Thermal Analysis, CATS2011
    • Place of Presentation
      Minami Oosawa
    • Year and Date
      2011-08-03
  • [Presentation] 高温熱分析用MEMSカロリメータによる熱分析・質量計測2011

    • Author(s)
      石井淳市, 早川裕樹, 中別府修
    • Organizer
      第48回日本伝熱シンポジウム
    • Place of Presentation
      岡山
    • Year and Date
      2011-06-01
  • [Presentation] カンチレバー型MEMSカロリメータを用いた複合熱分析法の研究2011

    • Author(s)
      早川裕樹, 杉本拓也, 石井淳市, 中別府修
    • Organizer
      第48回日本伝熱シンポジウム
    • Place of Presentation
      岡山
    • Year and Date
      2011-06-01

URL: 

Published: 2013-06-26  

Information User Guide FAQ News Terms of Use Attribution of KAKENHI

Powered by NII kakenhi