2010 Fiscal Year Self-evaluation Report
Multifunction chip-calorimetry system with MEMS technology
| Project/Area Number |
20360103
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| Research Category |
Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
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| Allocation Type | Single-year Grants |
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| Section | 一般 |
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| Research Field |
Thermal engineering
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| Research Institution | Meiji University |
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Principal Investigator |
NAKABEPPU Osamu Meiji University, 理工学部, 教授 (50227873)
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| Project Period (FY) |
2008 – 2011
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| Keywords | MEMS / 熱工学 / 熱流体工学 / 計測 |
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| Research Abstract |
本研究は,MEMS(Micro-Electro-Mechanical Systems)技術で作成される微小カロリメータをSEM(走査電子顕微鏡)内に導入し,微小試料に対する超高速,高感度熱分析を行う格段に分析能力の優れた複合ナノ熱分析システムの開発を目標としている.そのため,微小な熱分析デバイスの研究,微量質量計測技術の研究,SEM内で行う複合ナノ熱分析の研究,微小試料を配置・除去するマイクロマニピュレーション技術の研究を実施する.
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