2009 Fiscal Year Annual Research Report
外部光照射による壁電荷変調とマイクロバリアー放電制御
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20560045
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| Research Institution | University of Yamanashi |
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Principal Investigator |
櫻井 彪 University of Yamanashi, 名誉教授 (00092841)
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| Keywords | 壁電位制御 / パルスレーザー照射 / マイクロバリアー放電 / 外部光放電制御 / 二次元放電パネル |
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| Research Abstract |
1.電気光学結晶(BSO)を誘電体としたマイクロギャップのバリアー放電装置を作成し、パルスYAGレーザー(パルス幅10ns、波長533nm)を外部照射することによって、バリアー放電が制御できることを示してきた。詳しい測定の結果、(1)光照射壁電位変化量は0.5μJ以下ではYAGレーザー強度に直線的に比例する(2)壁電位変化量の寿命がおよそ20msである(3)YAGレーザー照射位置では壁電位変化が観測できるが、非照射位置では変化は観測できない(4)放電維持電圧近傍では、YAGレーザー非照射では放電開始が統計的にばらつくが、レーザー照射時には照射直後に放電開始が集中する。この結果は過渡的放電電流と過渡的プラズマ発光の両者の観測によって確認した。以上のような実験結果を解析し、この現象は主に、(1)外部照射光により電気光学結晶の非線形電気感受率が変化し、その誘電率の変化が壁電位変化をもたらす(2)壁電位変化によりバリアー電極間電圧が増加し、バリアー放電が誘起される、と考えられる。
2.また、新たに同一平面型マイクロギャップ(0.1mm)バリアー放電(放電空間0.5×1.5mm)を10個並列配置した一次元アレー型放電装置を作成し、真空チェンバー内でNe+Xe(10%)300Torr封入した。この装置の放電開始電圧は750Vですべての10列がバリアー放電する。また最低放電維持電圧は700Vである。電圧0Vから昇圧し、700Vに保ち全てのギャップは放電しない状態において、YAGレーザー照射すると照射位置ギャップのみ放電が誘起される。照射位置を変えると次々と放電が誘起されることを確認した。
3.以上は二次元マイクロアレーバリアー放電パネルにおいて、外部光照射によって任意の場所の放電を誘起できることを示し、実用として外部光照射による放電制御が可能であることを示した。
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[Journal Article]2009
Author(s)
日本学術振興会ブラズマ材料科学第153委員会編
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Journal Title
大気圧プラズマ「基礎と応用」、4章3、4、櫻井彪執筆(オーム社)
Pages: 158-164
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