2008 Fiscal Year Annual Research Report
0.1アトリットルを滴下制御するナノピペットプローブ顕微鏡微細加工装置の開発
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20560105
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| Research Institution | Shizuoka University |
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Principal Investigator |
岩田 太 Shizuoka University, 工学部, 准教授 (30262794)
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| Keywords | ナノピペット / SPM / プローブ / マニピュレーター / 微細加工 / 顕微鏡 / 推積加工 / 滴下制御 |
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| Research Abstract |
20年度に、電圧を印加させながらナノ流体を滴下させる基礎実験過程において「ナノ流体が電界により滴下可能であるが安定性を得るためには電圧ではなく電流をモニタリングしながらチャージ量を制御することが重要である」という知見を得た。この知見を実験で確認できれば、本研究の目的であるこれまでにない高安定な滴下装置が開発でき、試薬溶液の滴下が可能となるだけでなく、電子デバイス開発など幅広い応用が期待できるため、さらに安定な条件を出す予備実験およびデータ解析を行うことを繰越予算により行った。具体的に行った内容を以下に示す。
・ナノピペットプローブ顕微鏡システム試作
上記の予備実験を行うための電流検出回路などの製作や低ノイズ化、データの記録システムの構築など装置の改良を行い、データ取得を行った。
・新知見の確認実験・データ分析
上記実験および解析により電荷量で微細堆積量が制御きることを確認した。
・システムの構築とナノ流体の滴下制御法の確立
上記実験結果に基づく装置およびシステムを改良した。電荷のカウントは高精度電流アンプの出力をパソコンにて取得し、電荷を計算しながら設定値に達したときにプローブを基板表面から離すことで実現した。これによりナノ流体を高精度で堆積させるための滴下制御法を確立することができた。
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