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2008 Fiscal Year Annual Research Report

Φ型構造電極を用いる非接触型表面抵抗測定法の開発

Research Project

Project/Area Number 20560257
Research InstitutionYamagata University

Principal Investigator

杉本 俊之  Yamagata University, 大学院・理工学研究科, 准教授 (10282237)

Keywordsコロナ帯電 / 表面電位 / 表面抵抗測定 / φ型構造電極 / 非接触表面抵抗測定
Research Abstract

非接触で表面抵抗を測定する装置の開発を最終目的とし、当該年度はコロナ帯電装置の最適設計を目標として、φ型構造電極の試作と試験を行った。先端曲率半径が10μmの高電圧針電極と貫通孔付き接地平板電極を試作し、貫通孔の大きさ、針電極の先端が接地平板電極から突き出る長さを変化させて、絶縁シート(被測定物)の帯電実験を行った。絶縁シートは、接地平板電極から5mm離れた場所に設置した。被測定物の裏面に設置したフィードバック型電界計によって被測定物の帯電電位分布を測定した結果、貫通孔の直径が3〜5mm、針電極の突き出る長さが3〜4mmのときに、針電極直下で1〜3kV程度の十分な帯電電圧が得られた。絶縁シートを被測定物とした場合には、針電極からの距離が10mmを超えると、帯電電位がほぼゼロとなることが判明した。また、絶縁シートの代わりに導電性シートを用いた場合、針電極直下での帯電電位と、針電極から離れた位置での帯電電位が同じ電位になることを確認した。これらの測定結果から、被測定物がシート状ではなく、厚みを持つ場合にも対応できるように、接地型の表面電位計を接地電極上に置き、測定用の開口部を持たせる構造の測定装置を設計した。
また、当該測定法の理論解析を行い、表面抵抗値が帯電からの時間と、針電極からの距離と接地平板と被測定物とのギャップに依存する関数(ガウス誤差関数)であることを明らかにした。これにより、表面電位測定の速度限界を勘案し、10^6〜10^<13>Ωの範囲において表面電位測定値から表面抵抗値に線形換算できることが分かった。

  • Research Products

    (2 results)

All 2009 2008

All Presentation (1 results) Patent(Industrial Property Rights) (1 results)

  • [Presentation] Non contacting surface resistivity measurement using aphi-type electrodes2008

    • Author(s)
      Toshiyuki Sugimoto
    • Organizer
      2008 IEEE Industrial Applications Society Annual Meeting
    • Place of Presentation
      Edomonton, Alberta, CANADA
    • Year and Date
      2008-10-07
  • [Patent(Industrial Property Rights)] 表面抵抗測定装置及び表面抵抗測定法2009

    • Inventor(s)
      杉本俊之
    • Industrial Property Rights Holder
      杉本俊之
    • Industrial Property Number
      特願2009-037409
    • Filing Date
      2009-02-20

URL: 

Published: 2010-06-11   Modified: 2016-04-21  

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