2009 Fiscal Year Annual Research Report
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20560257
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| Research Institution | Yamagata University |
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Principal Investigator |
杉本 俊之 Yamagata University, 大学院・理工学研究科, 准教授 (10282237)
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| Keywords | コロナ帯電 / 表面電位 / 表面抵抗測定 / φ型構造電極 / 非接触表面抵抗測定 |
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| Research Abstract |
当該研究課題は、非接触で試料表面の表面抵抗率を測定することを目的として、Φ型コロナ放電電極によるイオンの吹き付けと表面電位測定を同時に行う方法を提案している。当該年度は、電位測定部位の最適化と、除電方法の開発を念頭に以下の点について検討した。コロナ放電によって帯電した試料表面の電位分布を測定するため、Φ型コロナ電極の接地平板電極上に開口部を設ける改良を行った。この結果、表面抵抗の大きさに応じて表面電位が大きくことなり、特に、帯電が行われる針電極の直下からの距離が離れるほど、表面抵抗の変化による表面電位の変化の割合が大きいことが確認された。2点で測定する場合は、針電極の近傍で1点と、離れた点に1点に測定点を設け、両者の距離が1～2cmが最適であることが判明した。
帯電された試料を除電する方法として、接地平板電極に多孔質状の開口部を設け、除電イオンを供給する方法を開発した。これは、正コロナ放電を起こす正針状電極と、負コロナ放電を起こす負針状電極とを対向させるものであり、正負のイオンのうち帯電している極性とは反対の極性のイオンが接地平板電極の多孔質の開口部から供給されて除電するものである。エアを供給しなくても試料表面の除電を行うことができ、また、接地平板電極との距離が近いほど、すばやく除電できる構造になっている。導電性ポリマーを絶縁体試料の表面にコーティングすることにより、10^5～10^<14>Ωの表面抵抗率を持つ試料を作成し、コロナ帯電にともなう試料表面の電位上昇特性を調べた結果、使用した表面電位計の時間応答によって、10^9Ω以下の試料の表面抵抗率の測定が困難であることが判明した。そこで、2点の表面電位を高速で測るためのプローブを試作し、低抵抗領域の表面抵抗測定が可能であることが示唆された。これについては、次年度の検討を要する。
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