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2008 Fiscal Year Annual Research Report

表面光電圧法によるフラットパネルディスプレイ用多結晶Si膜の結晶性評価技術の開発

Research Project

Project/Area Number 20560308
Research InstitutionNihon University

Principal Investigator

清水 博文  Nihon University, 工学部, 教授 (10318371)

Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) 池田 正則  日本大学, 工学部, 准教授 (10222902)
Keywords表面光電圧 / 多結晶シリコン薄膜 / 結晶性評価 / フラットパネルディスプレイ / 単結晶シリコン / 酸化膜成長 / 金属不純物 / 表面ポテンシャル
Research Abstract

1.AC SPV法による多結晶シリコン薄膜の結晶性評価
新たに励起光源と表面光電圧(SPV)測定部を一体化した小型SPVプローブを作製し,これを用いた非接触型の多結晶シリコン(Si)薄膜結晶性評価装置を立ち上げた。本装置を用いて,非接触で結晶性評価が可能である事を確認し,評価装置の実用化に大きく前進した。また,従来の問題点である面内SPV分布を解消し,平面走査によるマッピング評価が可能となった。試料表面とSPV検出部のギャップ間隔とSPVの関係が反比例である事が確認された。
2.AC SPV法による不純物汚染したSi表面における不純物の挙動及び酸化膜成長への影響の解析鉄(Fe),クロム(Cr),リン(P),アンチモン(Sb)及び金(Au)汚染したSi単結晶表面における酸化膜成長をエリプソメータにより,また表面ポテンシャルを交流表面光電圧(AC SPV)法により調べた。(1)Au汚染したSiでは,SiO_2表面及びSiO_2/Si界面にAuが析出し,界面のAuクラスターが酸化膜成長を増速させる触媒として働く事を明らかにした。(2)P及びSb汚染したSi表面の酸化膜成長は減速する結果が得られた。5価のP及びSbは酸化膜中に取り込まれ,正の電荷を発生させる。(3)Cr汚染したSi表面でも,酸化膜成長は減速し,3価のCrが酸化膜中で負電荷を発生
させる事が分かった。(4)Fe汚染したSi表面を熱酸化した場合,FeはSiO_2表面から約3nmの範囲に分布し負電荷を発生させる事が分かった。Si(4価)に対して3価及び5価の原子のSiO_2中での挙動を系統的に明らかにした。

  • Research Products

    (9 results)

All 2008

All Presentation (9 results)

  • [Presentation] Si(100)表面における熱酸化膜成長に及ぼすCrの影響2008

    • Author(s)
      長瀬慎太郎(清水博文)
    • Organizer
      応用物理学会東北支部第63回学術講演会
    • Place of Presentation
      東北大学
    • Year and Date
      2008-12-04
  • [Presentation] 熱酸化したFe故意汚染n型Si(1OO)表面におけるFe誘起酸化膜負電荷の解析2008

    • Author(s)
      大槻智大
    • Organizer
      応用物理学会東北支部第63回学術講演会
    • Place of Presentation
      東北大学
    • Year and Date
      2008-12-04
  • [Presentation] Si(1OO)表面における熱酸化膜成長に及ぼすP及びSbの影響2008

    • Author(s)
      牟田壮志郎
    • Organizer
      応用物理学会東北支部第63回学術講演会
    • Place of Presentation
      東北大学
    • Year and Date
      2008-12-04
  • [Presentation] Formation and Collapse of Au/n-Si Schottky-Barrier Contact at the SiO_2/Si Interface and Oxidation Kinetics in Au-Contaminated and Thermally Oxidized n-Si(001) Surfaces2008

    • Author(s)
      H. Shimizu
    • Organizer
      AVS 55^<th> International Symposium & Exhibition
    • Place of Presentation
      Boston, USA.
    • Year and Date
      2008-10-23
  • [Presentation] 熱酸化したAu故意汚染n型Si(100)表面におけるAuの挙動(その2)2008

    • Author(s)
      嶋田定剛(清水博文)
    • Organizer
      第69回応用物理学会学術講演会
    • Place of Presentation
      中部大学
    • Year and Date
      2008-09-03
  • [Presentation] 表面光電圧法による多結晶シリコン薄膜の結晶性評価2008

    • Author(s)
      池田正則(清水博文)
    • Organizer
      第69回応用物理学会学術講演会
    • Place of Presentation
      中部大学
    • Year and Date
      2008-09-02
  • [Presentation] Auによるn型Si(100)表面における熱酸化膜成長の増速2008

    • Author(s)
      牟田壮志郎(清水博文)
    • Organizer
      平成20年度電気関係学会東北支部連合大会
    • Place of Presentation
      日本大学工学部
    • Year and Date
      2008-08-21
  • [Presentation] Au故意汚染して熱酸化したn型Si(100)表面におけるAuの分布2008

    • Author(s)
      長瀬慎太郎(清水博文)
    • Organizer
      平成20年度電気関係学会東北支部連合大会
    • Place of Presentation
      日本大学工学部
    • Year and Date
      2008-08-21
  • [Presentation] 交流表面光電圧法によるn型Si(100)表面におけるFe誘起酸化膜負電荷の解析2008

    • Author(s)
      大槻智大(清水博文)
    • Organizer
      平成20年度電気関係学会東北支部連合大会
    • Place of Presentation
      日本大学工学部
    • Year and Date
      2008-08-21

URL: 

Published: 2010-06-11   Modified: 2016-04-21  

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